Obleas de SiC de carburo de silicio de 6 pulgadas y 150 mm tipo 4H-N para investigación de producción MOS o SBD y grado simulado
Campos de aplicación
El sustrato monocristalino de carburo de silicio de 6 pulgadas desempeña un papel crucial en múltiples industrias. En primer lugar, se utiliza ampliamente en la industria de los semiconductores para la fabricación de dispositivos electrónicos de alta potencia, como transistores de potencia, circuitos integrados y módulos de potencia. Su alta conductividad térmica y resistencia a altas temperaturas permiten una mejor disipación del calor, lo que resulta en una mayor eficiencia y confiabilidad. En segundo lugar, las obleas de carburo de silicio son fundamentales en los campos de investigación para el desarrollo de nuevos materiales y dispositivos. Además, la oblea de carburo de silicio encuentra amplias aplicaciones en el campo de la optoelectrónica, incluida la fabricación de LED y diodos láser.
Especificaciones del producto
El sustrato monocristalino de carburo de silicio de 6 pulgadas tiene un diámetro de 6 pulgadas (aproximadamente 152,4 mm). La rugosidad de la superficie es Ra <0,5 nm y el espesor es 600 ± 25 μm. El sustrato se puede personalizar con conductividad tipo N o tipo P, según los requisitos del cliente. Además, presenta una estabilidad mecánica excepcional, capaz de soportar presiones y vibraciones.
Diámetro | 150 ± 2,0 mm (6 pulgadas) | ||||
Espesor | 350 µm±25 µm | ||||
Orientación | En el eje: <0001>±0,5° | Fuera del eje: 4,0° hacia 1120±0,5° | |||
politipo | 4H | ||||
Resistividad(Ω·cm) | 4H-N | 0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025 ohm·cm | |||
4/6H-SI | >1E5 | ||||
Orientación plana primaria | {10-10}±5,0° | ||||
Longitud plana primaria (mm) | 47,5 mm±2,5 mm | ||||
Borde | Chaflán | ||||
TTV/arco/deformación (um) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
Frente AFM (cara Si) | Polaco Ra≤1 nm | ||||
CMPRa≤0,5 nm | |||||
TVL | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
televisión | ≤5μm | ≤10 μm | ≤15 μm | ||
Piel de naranja/hoyos/grietas/contaminación/manchas/estrías | Ninguno | Ninguno | Ninguno | ||
sangrías | Ninguno | Ninguno | Ninguno |
El sustrato monocristalino de carburo de silicio de 6 pulgadas es un material de alto rendimiento ampliamente utilizado en las industrias de semiconductores, investigación y optoelectrónica. Ofrece excelente conductividad térmica, estabilidad mecánica y resistencia a altas temperaturas, lo que lo hace adecuado para la fabricación de dispositivos electrónicos de alta potencia y la investigación de nuevos materiales. Ofrecemos varias especificaciones y opciones de personalización para satisfacer las diversas demandas de los clientes.¡Contáctenos para obtener más detalles sobre las obleas de carburo de silicio!