Grado de investigación simulado conductor de oblea de SiC 4H-N de 8 pulgadas y 200 mm

Breve descripción:

A medida que evolucionan los mercados de transporte, energía e industria, la demanda de electrónica de potencia confiable y de alto rendimiento continúa creciendo.Para satisfacer las necesidades de un mejor rendimiento de los semiconductores, los fabricantes de dispositivos buscan materiales semiconductores de banda prohibida amplia, como nuestra cartera de obleas de carburo de silicio (SiC) 4H SiC Prime Grade de tipo 4H n.


Detalle del producto

Etiquetas de productos

Debido a sus propiedades físicas y electrónicas únicas, el material semiconductor de oblea de SiC de 200 mm se utiliza para crear dispositivos electrónicos de alto rendimiento, alta temperatura, resistentes a la radiación y de alta frecuencia.El precio del sustrato de SiC de 8 pulgadas está disminuyendo gradualmente a medida que la tecnología se vuelve más avanzada y crece la demanda.Los recientes avances tecnológicos conducen a la fabricación a escala de producción de obleas de SiC de 200 mm.Las principales ventajas de los materiales semiconductores de obleas de SiC en comparación con las obleas de Si y GaAs: la intensidad del campo eléctrico del 4H-SiC durante la ruptura por avalancha es más de un orden de magnitud mayor que los valores correspondientes para Si y GaAs.Esto conduce a una disminución significativa en la resistividad en estado Ron.La baja resistividad en estado encendido, combinada con una alta densidad de corriente y conductividad térmica, permite el uso de matrices muy pequeñas para dispositivos de potencia.La alta conductividad térmica del SiC reduce la resistencia térmica del chip.Las propiedades electrónicas de los dispositivos basados ​​en obleas de SiC son muy estables en el tiempo y en temperatura, lo que garantiza una alta fiabilidad de los productos.El carburo de silicio es extremadamente resistente a la radiación fuerte, lo que no degrada las propiedades electrónicas del chip.La alta temperatura de funcionamiento límite del cristal (más de 6000 ° C) permite crear dispositivos altamente confiables para condiciones operativas duras y aplicaciones especiales.En la actualidad, podemos suministrar lotes pequeños de obleas de SiC de 200 mm de manera constante y continua y tener algo de stock en el almacén.

Especificación

Número Artículo Unidad Producción Investigación Ficticio
1. Parámetros
1.1 politipo -- 4H 4H 4H
1.2 orientación de la superficie ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Parámetro eléctrico
2.1 dopante -- Nitrógeno tipo n Nitrógeno tipo n Nitrógeno tipo n
2.2 resistividad ohmios·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Parámetro mecánico
3.1 diámetro mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 espesor µm 500±25 500±25 500±25
3.3 Orientación de la muesca ° [1-100]±5 [1-100]±5 [1-100]±5
3.4 Profundidad de muesca mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 TVL µm ≤5(10mm*10mm) ≤5(10mm*10mm) ≤10(10mm*10mm)
3.6 televisión µm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Arco µm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Deformación µm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Estructura
4.1 densidad del microtubo unidad/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 contenido de metal átomos/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD unidad/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 TLP unidad/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED unidad/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Calidad positiva
5.1 frente -- Si Si Si
5.2 acabado de la superficie -- CMP de cara Si CMP de cara Si CMP de cara Si
5.3 partícula ea/oblea ≤100(tamaño≥0,3μm) NA NA
5.4 rascar ea/oblea ≤5, longitud total≤200 mm NA NA
5.5 Borde
astillas/hendiduras/grietas/manchas/contaminación
-- Ninguno Ninguno NA
5.6 Áreas politipo -- Ninguno Área ≤10% Área ≤30%
5.7 marcado frontal -- Ninguno Ninguno Ninguno
6. Calidad de la espalda
6.1 terminar atrás -- Cara C MP Cara C MP Cara C MP
6.2 rascar mm NA NA NA
6.3 Borde de defectos posteriores
chips/sangrías
-- Ninguno Ninguno NA
6.4 Rugosidad de la espalda nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Marcado trasero -- Muesca Muesca Muesca
7. Borde
7.1 borde -- Chaflán Chaflán Chaflán
8. Paquete
8.1 embalaje -- Epi-ready con vacío
embalaje
Epi-ready con vacío
embalaje
Epi-ready con vacío
embalaje
8.2 embalaje -- multioblea
embalaje de casete
multioblea
embalaje de casete
multioblea
embalaje de casete

Diagrama detallado

8 pulgadas SiC03
8 pulgadas SiC4
8 pulgadas SiC5
8 pulgadas SiC6

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