Máquina de corte con hilo de diamante de carburo de silicio para procesamiento de lingotes de SiC de 4/6/8/12 pulgadas

Máquina de corte con hilo de diamante de carburo de silicio de 4/6/8/12 pulgadas para procesamiento de lingotes de SiC Imagen destacada

Descripción breve:

La máquina de corte por hilo de diamante de carburo de silicio es un equipo de procesamiento de alta precisión dedicado al corte de lingotes de carburo de silicio (SiC). Utiliza tecnología de sierra de hilo de diamante. Mediante el corte multihilo de lingotes de SiC mediante hilo de diamante de alta velocidad (diámetro de línea de 0,1 a 0,3 mm), se logra una preparación de obleas de alta precisión y con mínimos daños. Este equipo se utiliza ampliamente en el procesamiento de sustratos de semiconductores de potencia de SiC (MOSFET/SBD), dispositivos de radiofrecuencia (GaN sobre SiC) y dispositivos optoelectrónicos, y es un equipo clave en la industria del SiC.

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Principio de funcionamiento:

1. Fijación del lingote: el lingote de SiC (4H/6H-SiC) se fija en la plataforma de corte a través del accesorio para garantizar la precisión de la posición (±0,02 mm).

2. Movimiento de la línea de diamante: la línea de diamante (partículas de diamante galvanizadas en la superficie) es impulsada por el sistema de rueda guía para una circulación de alta velocidad (velocidad de línea 10~30 m/s).

3. Alimentación de corte: el lingote se alimenta a lo largo de la dirección establecida y la línea de diamante se corta simultáneamente con múltiples líneas paralelas (100~500 líneas) para formar múltiples obleas.

4. Enfriamiento y eliminación de virutas: Rocíe refrigerante (agua desionizada + aditivos) en el área de corte para reducir el daño por calor y eliminar las virutas.

Parámetros clave:

1. Velocidad de corte: 0,2~1,0 mm/min (dependiendo de la dirección del cristal y el espesor del SiC).

2. Tensión de la línea: 20~50 N (si es demasiado alta, es fácil romper la línea; si es demasiado baja, afecta la precisión del corte).

3. Espesor de la oblea: estándar 350~500 μm, la oblea puede alcanzar los 100 μm.

Características principales:

(1) Precisión de corte
Tolerancia de espesor: ±5μm (oblea de 350μm cada una), mejor que el corte con mortero convencional (±20μm).

Rugosidad de la superficie: Ra<0,5 μm (no se requiere pulido adicional para reducir la cantidad de procesamiento posterior).

Alabeo: <10μm (reduce la dificultad del pulido posterior).

(2) Eficiencia de procesamiento
Corte multilínea: corte de 100 a 500 piezas a la vez, lo que aumenta la capacidad de producción de 3 a 5 veces (en comparación con el corte de línea única).

Vida útil de la línea: La línea de diamante puede cortar entre 100 y 300 km de SiC (dependiendo de la dureza del lingote y la optimización del proceso).

(3) Procesamiento de bajo daño
Rotura del borde: <15 μm (corte tradicional >50 μm), mejora el rendimiento de la oblea.

Capa de daño subsuperficial: <5 μm (reduce la eliminación del pulido).

(4) Protección del medio ambiente y economía
Sin contaminación del mortero: costos reducidos de eliminación de líquidos residuales en comparación con el corte de mortero.

Utilización del material: Pérdida de corte <100 μm/cortador, ahorro de materias primas de SiC.

Efecto de corte:

1. Calidad de la oblea: Sin grietas macroscópicas en la superficie, con pocos defectos microscópicos (extensión de dislocación controlable). Permite el acceso directo al pulido grueso, lo que acorta el proceso.

2. Consistencia: la desviación del espesor de la oblea en el lote es <±3%, adecuada para la producción automatizada.

3. Aplicabilidad: Admite corte de lingotes 4H/6H-SiC, compatible con tipo conductor/semiaislado.

Especificaciones técnicas:

Especificación	Detalles
Dimensiones (largo × ancho × alto)	2500x2300x2500 o personalizar
Rango de tamaño del material de procesamiento	4, 6, 8, 10, 12 pulgadas de carburo de silicio
Rugosidad de la superficie	Ra≤0,3u
Velocidad media de corte	0,3 mm/min
Peso	5,5 toneladas
Pasos de configuración del proceso de corte	≤30 pasos
Ruido del equipo	≤80 dB
Tensión del alambre de acero	0~110 N (la tensión del cable 0,25 es 45 N)
Velocidad del alambre de acero	0~30 m/s
Potencia total	50 kW
Diámetro del hilo de diamante	≥0,18 mm
Planitud final	≤0,05 mm
Tasa de corte y rotura	≤1% (excepto por razones humanas, material de silicio, línea, mantenimiento y otras razones)

Servicios de XKH:

XKH ofrece servicios integrales para máquinas de corte con hilo de diamante de carburo de silicio, incluyendo la selección de equipos (adaptación del diámetro y la velocidad del hilo), el desarrollo del proceso (optimización de los parámetros de corte), el suministro de consumibles (hilo de diamante, rueda guía) y el soporte posventa (mantenimiento de equipos, análisis de la calidad del corte), para ayudar a los clientes a lograr una producción en masa de obleas de SiC de alto rendimiento (>95%) y bajo coste. También ofrece actualizaciones personalizadas (como corte ultrafino y carga y descarga automatizadas) con un plazo de entrega de 4 a 8 semanas.