Oblea de zafiro de 300 x 1,0 mm de grosor, plano C, SSP/DSP
Introducción de la caja de obleas
Materiales de cristal | 99,999 % de Al2O3, alta pureza, monocristalino, Al2O3 | |||
Calidad del cristal | Inclusiones, marcas de bloque, maclas, color, microburbujas y centros de dispersión son inexistentes. | |||
Diámetro | 2 pulgadas | 3 pulgadas | 4 pulgadas | 6 pulgadas ~ 12 pulgadas |
50,8 ± 0,1 mm | 76,2 ± 0,2 mm | 100 ± 0,3 mm | De acuerdo con las disposiciones de la producción estándar | |
Espesor | 430 ± 15 µm | 550 ± 15 µm | 650 ± 20 µm | Puede ser personalizado por el cliente. |
Orientación | Plano C (0001) a plano M (1-100) o plano A (1 1-2 0) 0,2 ± 0,1° / 0,3 ± 0,1°, plano R (1-1 0 2), plano A (1 1-2 0 ), plano M (1-1 0 0), cualquier orientación, cualquier ángulo | |||
Longitud plana primaria | 16,0 ± 1 mm | 22,0 ± 1,0 mm | 32,5 ± 1,5 mm | De acuerdo con las disposiciones de la producción estándar |
Orientación del piso primario | Plano A (1 1-2 0 ) ± 0,2° | |||
Televisión por cable | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Valor de vida útil | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
TIR | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
ARCO | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Urdimbre | ≤10 µm | ≤15 µm | ≤20 µm | ≤30 µm |
Superficie frontal | Epi-pulido (Ra < 0,2 nm) |
*Arco: La desviación del punto central de la superficie media de una oblea libre y sin sujetar con respecto al plano de referencia, donde el plano de referencia está definido por las tres esquinas de un triángulo equilátero.
*Deformación: La diferencia entre las distancias máxima y mínima de la superficie media de una oblea libre y sin sujetar desde el plano de referencia definido anteriormente.
Productos y servicios de alta calidad para dispositivos semiconductores de próxima generación y crecimiento epitaxial:
Alto grado de planitud (TTV controlado, curvatura, urdimbre, etc.)
Limpieza de alta calidad (baja contaminación por partículas, baja contaminación por metales)
Perforación, ranurado, corte y pulido posterior del sustrato
Adjunto datos como limpieza y forma del sustrato (opcional)
Si necesita sustratos de zafiro, no dude en contactarnos:
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Diagrama detallado

