Sustratos de cristal de semilla de SiC personalizados, diámetro 205/203/208, tipo 4H-N, para comunicaciones ópticas
Parámetros técnicos
Oblea de semilla de carburo de silicio | |
Politipo | 4H |
Error de orientación de la superficie | 4°hacia<11-20>±0,5º |
Resistividad | personalización |
Diámetro | 205 ± 0,5 mm |
Espesor | 600 ± 50 μm |
Aspereza | CMP, Ra ≤ 0,2 nm |
Densidad de microtubos | ≤1 ea/cm2 |
Arañazos | ≤5,Longitud total ≤2*Diámetro |
Astillas/sangrías en los bordes | Ninguno |
Marcado láser frontal | Ninguno |
Arañazos | ≤2,Longitud total ≤Diámetro |
Astillas/sangrías en los bordes | Ninguno |
Áreas de politipo | Ninguno |
Marcado láser posterior | 1 mm (desde el borde superior) |
Borde | Chaflán |
Embalaje | Casete multi-obleas |
Características clave
1. Estructura cristalina y rendimiento eléctrico
· Estabilidad cristalográfica: 100 % de predominio de politipo 4H-SiC, cero inclusiones multicristalinas (por ejemplo, 6H/15R), con curva de oscilación de XRD de ancho completo a la mitad del máximo (FWHM) ≤32,7 segundos de arco.
· Alta movilidad de portadores: movilidad de electrones de 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) y movilidad de huecos de 380 cm²/V·s, lo que permite diseños de dispositivos de alta frecuencia.
·Dureza a la radiación: Soporta irradiación de neutrones de 1 MeV con un umbral de daño por desplazamiento de 1×10¹⁵ n/cm², ideal para aplicaciones aeroespaciales y nucleares.
2. Propiedades térmicas y mecánicas
· Conductividad térmica excepcional: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), el triple que el silicio, lo que permite un funcionamiento a temperaturas superiores a 200 °C.
· Coeficiente de expansión térmica bajo: CTE de 4,0×10⁻⁶/K (25–1000 °C), lo que garantiza la compatibilidad con envases a base de silicio y minimiza el estrés térmico.
3. Control de defectos y precisión de procesamiento
· Densidad de microtubos: <0,3 cm⁻² (obleas de 8 pulgadas), densidad de dislocación <1000 cm⁻² (verificada mediante grabado con KOH).
· Calidad de la superficie: Pulido CMP a Ra <0,2 nm, cumpliendo con los requisitos de planitud de grado litográfico EUV.
Aplicaciones clave
Dominio | Escenarios de aplicación | Ventajas técnicas |
Comunicaciones ópticas | Láseres de 100G/400G, módulos híbridos de fotónica de silicio | Los sustratos de semillas de InP permiten una banda prohibida directa (1,34 eV) y heteroepitaxia basada en Si, lo que reduce la pérdida de acoplamiento óptico. |
Vehículos de nueva energía | Inversores de alto voltaje de 800 V, cargadores integrados (OBC) | Los sustratos 4H-SiC soportan >1200 V, lo que reduce las pérdidas de conducción en un 50 % y el volumen del sistema en un 40 %. |
Comunicaciones 5G | Dispositivos de RF de ondas milimétricas (PA/LNA), amplificadores de potencia de estación base | Los sustratos de SiC semiaislantes (resistividad >10⁵ Ω·cm) permiten una integración pasiva de alta frecuencia (60 GHz+). |
Equipos industriales | Sensores de alta temperatura, transformadores de corriente, monitores de reactores nucleares | Los sustratos de semillas InSb (banda prohibida de 0,17 eV) brindan una sensibilidad magnética de hasta un 300 % a 10 T. |
Ventajas clave
Los sustratos de cristal semilla de SiC (carburo de silicio) ofrecen un rendimiento inigualable con una conductividad térmica de 4,9 W/cm·K, una intensidad de campo de ruptura de 2-4 MV/cm y una banda prohibida de 3,2 eV, lo que permite aplicaciones de alta potencia, alta frecuencia y alta temperatura. Con una densidad de microtubos nula y una densidad de dislocación <1000 cm⁻², estos sustratos garantizan la fiabilidad en condiciones extremas. Su inercia química y sus superficies compatibles con CVD (Ra <0,2 nm) facilitan el crecimiento heteroepitaxial avanzado (p. ej., SiC sobre Si) para optoelectrónica y sistemas de energía para vehículos eléctricos.
Servicios de XKH:
1. Producción personalizada
· Formatos de obleas flexibles: obleas de 2 a 12 pulgadas con cortes circulares, rectangulares o con forma personalizada (tolerancia de ±0,01 mm).
· Control de Dopaje: Dopaje preciso de nitrógeno (N) y aluminio (Al) mediante CVD, logrando rangos de resistividad de 10⁻³ a 10⁶ Ω·cm.
2. Tecnologías de procesos avanzadas
· Heteroepitaxia: SiC-sobre-Si (compatible con líneas de silicio de 8 pulgadas) y SiC-sobre-Diamante (conductividad térmica >2.000 W/m·K).
· Mitigación de defectos: Grabado con hidrógeno y recocido para reducir los defectos de densidad/microtubería, mejorando el rendimiento de las obleas a >95%.
3. Sistemas de Gestión de Calidad
· Pruebas de extremo a extremo: espectroscopia Raman (verificación de politipos), XRD (cristalinidad) y SEM (análisis de defectos).
· Certificaciones: Cumple con AEC-Q101 (automotriz), JEDEC (JEDEC-033) y MIL-PRF-38534 (grado militar).
4. Apoyo a la cadena de suministro global
· Capacidad de producción: Producción mensual >10.000 obleas (60% 8 pulgadas), con entrega de emergencia en 48 horas.
· Red Logística: Cobertura en Europa, Norteamérica y Asia-Pacífico vía transporte aéreo/marítimo con embalaje con temperatura controlada.
5. Codesarrollo técnico
· Laboratorios de I+D conjuntos: colaborar en la optimización del empaquetado del módulo de potencia de SiC (por ejemplo, integración del sustrato DBC).
· Licencias de propiedad intelectual: proporcionar licencias de tecnología de crecimiento epitaxial de radiofrecuencia GaN sobre SiC para reducir los costos de I+D del cliente.
Resumen
Los sustratos de cristal semilla de SiC (carburo de silicio), como material estratégico, están transformando las cadenas industriales globales gracias a avances en el crecimiento de cristales, el control de defectos y la integración heterogénea. Mediante el avance continuo en la reducción de defectos en obleas, el escalado de la producción de 8 pulgadas y la expansión de las plataformas heteroepitaxiales (p. ej., SiC sobre diamante), XKH ofrece soluciones rentables y de alta fiabilidad para optoelectrónica, nuevas energías y fabricación avanzada. Nuestro compromiso con la innovación garantiza que nuestros clientes sean líderes en neutralidad de carbono y sistemas inteligentes, impulsando la nueva era de los ecosistemas de semiconductores de banda ancha.


