Sustratos de cristal semilla de SiC personalizados de 205/203/208 mm de diámetro, tipo 4H-N, para comunicaciones ópticas
Parámetros técnicos
oblea de semilla de carburo de silicio | |
Politipo | 4H |
error de orientación de la superficie | 4° hacia <11-20> ±0,5º |
Resistividad | personalización |
Diámetro | 205 ± 0,5 mm |
Espesor | 600±50μm |
Aspereza | CMP,Ra≤0.2nm |
Densidad de micropipes | ≤1 unidad/cm² |
Arañazos | ≤5, Longitud total ≤2*Diámetro |
Desportilladuras/hendiduras en los bordes | Ninguno |
Marcado láser frontal | Ninguno |
Arañazos | ≤2, Longitud total ≤ Diámetro |
Desportilladuras/hendiduras en los bordes | Ninguno |
áreas de politipo | Ninguno |
Marcado láser posterior | 1 mm (desde el borde superior) |
Borde | Chaflán |
Embalaje | casete multi-obleas |
Características clave
1. Estructura cristalina y rendimiento eléctrico
· Estabilidad cristalográfica: 100% de predominio del politipo 4H-SiC, cero inclusiones multicristalinas (por ejemplo, 6H/15R), con ancho completo a la mitad del máximo (FWHM) de la curva de balanceo XRD ≤32,7 arcsec.
• Alta movilidad de portadores: movilidad de electrones de 5400 cm²/V·s (4H-SiC) y movilidad de huecos de 380 cm²/V·s, lo que permite diseños de dispositivos de alta frecuencia.
·Resistencia a la radiación: Soporta irradiación de neutrones de 1 MeV con un umbral de daño por desplazamiento de 1×10¹⁵ n/cm², ideal para aplicaciones aeroespaciales y nucleares.
2. Propiedades térmicas y mecánicas
• Conductividad térmica excepcional: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), el triple que la del silicio, lo que permite un funcionamiento a temperaturas superiores a 200 °C.
· Coeficiente de expansión térmica bajo: CTE de 4,0×10⁻⁶/K (25–1000°C), lo que garantiza la compatibilidad con los envases basados en silicio y minimiza el estrés térmico.
3. Control de defectos y precisión de procesamiento
· Densidad de micropipes: <0,3 cm⁻² (obleas de 8 pulgadas), densidad de dislocación <1.000 cm⁻² (verificado mediante grabado con KOH).
• Calidad de la superficie: Pulida mediante CMP a Ra <0,2 nm, cumpliendo con los requisitos de planitud de grado de litografía EUV.
Aplicaciones clave
| Dominio | Escenarios de aplicación | Ventajas técnicas |
| Comunicaciones ópticas | Láseres 100G/400G, módulos híbridos de fotónica de silicio | Los sustratos semilla de InP permiten una banda prohibida directa (1,34 eV) y heteroepitaxia basada en Si, reduciendo la pérdida de acoplamiento óptico. |
| Vehículos de nueva energía | Inversores de alto voltaje de 800 V, cargadores a bordo (OBC) | Los sustratos de 4H-SiC soportan >1200 V, reduciendo las pérdidas por conducción en un 50 % y el volumen del sistema en un 40 %. |
| Comunicaciones 5G | Dispositivos de radiofrecuencia de ondas milimétricas (PA/LNA), amplificadores de potencia para estaciones base | Los sustratos de SiC semi-aislantes (resistividad >10⁵ Ω·cm) permiten la integración pasiva de alta frecuencia (60 GHz+). |
| Equipos industriales | Sensores de alta temperatura, transformadores de corriente, monitores de reactores nucleares | Los sustratos semilla de InSb (banda prohibida de 0,17 eV) ofrecen una sensibilidad magnética de hasta el 300 % a 10 T. |
Ventajas clave
Los sustratos de cristal semilla de SiC (carburo de silicio) ofrecen un rendimiento inigualable con una conductividad térmica de 4,9 W/cm·K, una rigidez dieléctrica de 2–4 MV/cm y una banda prohibida de 3,2 eV, lo que permite aplicaciones de alta potencia, alta frecuencia y alta temperatura. Con una densidad de microporos nula y una densidad de dislocación inferior a 1000 cm⁻², estos sustratos garantizan la fiabilidad en condiciones extremas. Su inercia química y sus superficies compatibles con CVD (Ra <0,2 nm) favorecen el crecimiento heteroepitaxial avanzado (p. ej., SiC sobre Si) para optoelectrónica y sistemas de potencia para vehículos eléctricos.
Servicios XKH:
1. Producción personalizada
· Formatos de obleas flexibles: obleas de 2 a 12 pulgadas con cortes circulares, rectangulares o de forma personalizada (tolerancia de ±0,01 mm).
· Control de dopaje: Dopaje preciso de nitrógeno (N) y aluminio (Al) mediante CVD, logrando rangos de resistividad de 10⁻³ a 10⁶ Ω·cm.
2. Tecnologías de procesos avanzadas
· Heteroepitaxia: SiC sobre Si (compatible con líneas de silicio de 8 pulgadas) y SiC sobre diamante (conductividad térmica >2000 W/m·K).
• Mitigación de defectos: Grabado con hidrógeno y recocido para reducir los defectos de microporos/densidad, mejorando el rendimiento de las obleas a >95%.
3. Sistemas de gestión de la calidad
• Pruebas de extremo a extremo: espectroscopia Raman (verificación de politipos), XRD (cristalinidad) y SEM (análisis de defectos).
· Certificaciones: Cumple con AEC-Q101 (automotriz), JEDEC (JEDEC-033) y MIL-PRF-38534 (grado militar).
4. Apoyo a la cadena de suministro global
• Capacidad de producción: Producción mensual >10.000 obleas (60% de 8 pulgadas), con entrega de emergencia en 48 horas.
• Red logística: Cobertura en Europa, Norteamérica y Asia-Pacífico mediante transporte aéreo/marítimo con embalaje a temperatura controlada.
5. Desarrollo técnico conjunto
• Laboratorios conjuntos de I+D: Colaborar en la optimización del empaquetado de módulos de potencia de SiC (por ejemplo, integración de sustrato DBC).
• Licencias de propiedad intelectual: Ofrecemos licencias de tecnología de crecimiento epitaxial de RF GaN sobre SiC para reducir los costes de I+D de nuestros clientes.
Resumen
Los sustratos de cristal semilla de SiC (carburo de silicio), como material estratégico, están transformando las cadenas industriales globales gracias a los avances en el crecimiento de cristales, el control de defectos y la integración heterogénea. Mediante la continua reducción de defectos en obleas, la ampliación de la producción a 8 pulgadas y la expansión de plataformas heteroepitaxiales (p. ej., SiC sobre diamante), XKH ofrece soluciones rentables y de alta fiabilidad para la optoelectrónica, las nuevas energías y la fabricación avanzada. Nuestro compromiso con la innovación garantiza que nuestros clientes lideren la neutralidad de carbono y los sistemas inteligentes, impulsando la próxima era de los ecosistemas de semiconductores de banda prohibida ancha.









