Oblea de carburo de silicio (SiC) de 8 pulgadas, tipo 4H-N, 0,5 mm, grado de producción, grado de investigación, sustrato pulido a medida

Descripción breve:

El carburo de silicio (SiC), también conocido como carburo de silicio, es un semiconductor compuesto de silicio y carbono con la fórmula química SiC. El SiC se utiliza en dispositivos electrónicos semiconductores que operan a altas temperaturas o presiones, o ambas. El SiC es también un componente importante de los LED, un sustrato común para el crecimiento de dispositivos de GaN y puede utilizarse como disipador de calor para LED de alta potencia.
El sustrato de carburo de silicio de 8 pulgadas es un componente esencial de la tercera generación de materiales semiconductores. Se caracteriza por su alta rigidez dieléctrica, alta conductividad térmica y elevada tasa de deriva de saturación electrónica, entre otras propiedades, lo que lo hace idóneo para la fabricación de dispositivos electrónicos de alta temperatura, alto voltaje y alta potencia. Sus principales aplicaciones incluyen vehículos eléctricos, transporte ferroviario, transmisión y transformación de energía de alto voltaje, energía fotovoltaica, comunicaciones 5G, almacenamiento de energía, industria aeroespacial y centros de datos de alta potencia para computación de inteligencia artificial.


Características

Las principales características del sustrato de carburo de silicio de 8 pulgadas tipo 4H-N incluyen:

1. Densidad de microtúbulos: ≤ 0,1/cm² o inferior, como por ejemplo la densidad de microtúbulos se reduce significativamente a menos de 0,05/cm² en algunos productos.
2. Proporción de forma cristalina: la proporción de forma cristalina 4H-SiC alcanza el 100%.
3. Resistividad: 0,014~0,028 Ω·cm, o más estable entre 0,015-0,025 Ω·cm.
4. Rugosidad superficial: Cara de Si CMP Ra≤0,12nm.
5. Espesor: Normalmente 500,0±25μm o 350,0±25μm.
6. Ángulo de chaflán: 25±5° o 30±5° para A1/A2 dependiendo del espesor.
7. Densidad total de dislocaciones: ≤3000/cm².
8. Contaminación superficial por metales: ≤1E+11 átomos/cm².
9. Flexión y deformación: ≤ 20 μm y ≤ 2 μm, respectivamente.
Estas características hacen que los sustratos de carburo de silicio de 8 pulgadas tengan un importante valor de aplicación en la fabricación de dispositivos electrónicos de alta temperatura, alta frecuencia y alta potencia.

La oblea de carburo de silicio de 8 pulgadas tiene diversas aplicaciones.

1. Dispositivos de potencia: Las obleas de SiC se utilizan ampliamente en la fabricación de dispositivos electrónicos de potencia, como MOSFET de potencia (transistores de efecto de campo de semiconductor de óxido metálico), diodos Schottky y módulos de integración de potencia. Gracias a la alta conductividad térmica, la alta tensión de ruptura y la alta movilidad electrónica del SiC, estos dispositivos permiten una conversión de potencia eficiente y de alto rendimiento en entornos de alta temperatura, alto voltaje y alta frecuencia.

2. Dispositivos optoelectrónicos: Las obleas de SiC juegan un papel vital en los dispositivos optoelectrónicos, utilizados para fabricar fotodetectores, diodos láser, fuentes ultravioleta, etc. Las propiedades ópticas y electrónicas superiores del carburo de silicio lo convierten en el material de elección, especialmente en aplicaciones que requieren altas temperaturas, altas frecuencias y altos niveles de potencia.

3. Dispositivos de radiofrecuencia (RF): Los chips de SiC también se utilizan para fabricar dispositivos de RF, como amplificadores de potencia de RF, interruptores de alta frecuencia, sensores de RF y otros. La alta estabilidad térmica, las características de alta frecuencia y las bajas pérdidas del SiC lo hacen ideal para aplicaciones de RF, como comunicaciones inalámbricas y sistemas de radar.

4. Electrónica de alta temperatura: Debido a su alta estabilidad térmica y elasticidad térmica, las obleas de SiC se utilizan para producir productos electrónicos diseñados para funcionar en entornos de alta temperatura, incluyendo electrónica de potencia de alta temperatura, sensores y controladores.

Las principales aplicaciones del sustrato de carburo de silicio de 8 pulgadas tipo 4H-N incluyen la fabricación de dispositivos electrónicos de alta temperatura, alta frecuencia y alta potencia, especialmente en los sectores de electrónica automotriz, energía solar, generación de energía eólica, locomotoras eléctricas, servidores, electrodomésticos y vehículos eléctricos. Además, dispositivos como los MOSFET de SiC y los diodos Schottky han demostrado un excelente rendimiento en frecuencias de conmutación, pruebas de cortocircuito y aplicaciones de inversores, lo que impulsa su uso en electrónica de potencia.

XKH se puede personalizar con diferentes espesores según las necesidades del cliente. Se ofrecen distintos tratamientos de rugosidad superficial y pulido. Admite diferentes tipos de dopaje (como el dopaje con nitrógeno). XKH proporciona soporte técnico y servicios de consultoría para garantizar que los clientes puedan resolver cualquier problema durante su uso. El sustrato de carburo de silicio de 8 pulgadas presenta ventajas significativas en cuanto a reducción de costes y mayor capacidad, lo que permite reducir el coste unitario del chip en aproximadamente un 50 % en comparación con el sustrato de 6 pulgadas. Además, el mayor espesor del sustrato de 8 pulgadas ayuda a reducir las desviaciones geométricas y la deformación de los bordes durante el mecanizado, mejorando así el rendimiento.

Diagrama detallado

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