Oblea de carburo de silicio SiC de 8 pulgadas, tipo 4H-N, de 0,5 mm, de grado de producción, de grado de investigación, con sustrato pulido personalizado

Descripción breve:

El carburo de silicio (SiC), también conocido como carburo de silicio, es un semiconductor compuesto de silicio y carbono, cuya fórmula química es SiC. El SiC se utiliza en dispositivos electrónicos semiconductores que operan a altas temperaturas, altas presiones o ambas. El SiC también es uno de los componentes importantes de los LED, es un sustrato común para el crecimiento de dispositivos de GaN y puede utilizarse como disipador de calor para LED de alta potencia.
El sustrato de carburo de silicio de 8 pulgadas es un componente importante de la tercera generación de materiales semiconductores. Se caracteriza por su alta intensidad de campo de ruptura, alta conductividad térmica y alta tasa de deriva de saturación electrónica, entre otras características. Es adecuado para la fabricación de dispositivos electrónicos de alta temperatura, alto voltaje y alta potencia. Sus principales campos de aplicación incluyen vehículos eléctricos, transporte ferroviario, transmisión y transformación de energía de alto voltaje, energía fotovoltaica, comunicaciones 5G, almacenamiento de energía, aeroespacial y centros de datos de potencia de computación centralizada de IA.


Características

Las principales características del sustrato de carburo de silicio de 8 pulgadas tipo 4H-N incluyen:

1. Densidad de microtúbulos: ≤ 0,1/cm² o inferior, por ejemplo, la densidad de microtúbulos se reduce significativamente a menos de 0,05/cm² en algunos productos.
2. Relación de forma cristalina: la relación de forma cristalina 4H-SiC alcanza el 100%.
3. Resistividad: 0,014~0,028 Ω·cm, o más estable entre 0,015-0,025 Ω·cm.
4. Rugosidad de la superficie: CMP Si Face Ra≤0,12 nm.
5. Espesor: generalmente 500,0 ± 25 μm o 350,0 ± 25 μm.
6. Ángulo de chaflán: 25±5° o 30±5° para A1/A2 dependiendo del espesor.
7. Densidad total de dislocaciones: ≤3000/cm².
8. Contaminación metálica superficial: ≤1E+11 átomos/cm².
9. Flexión y deformación: ≤ 20 μm y ≤ 2 μm, respectivamente.
Estas características hacen que los sustratos de carburo de silicio de 8 pulgadas tengan un valor de aplicación importante en la fabricación de dispositivos electrónicos de alta temperatura, alta frecuencia y alta potencia.

La oblea de carburo de silicio de 8 pulgadas tiene varias aplicaciones.

1. Dispositivos de potencia: Las obleas de SiC se utilizan ampliamente en la fabricación de dispositivos electrónicos de potencia, como MOSFET (transistores de efecto de campo semiconductores de óxido metálico), diodos Schottky y módulos de integración de potencia. Gracias a la alta conductividad térmica, la alta tensión de ruptura y la alta movilidad electrónica del SiC, estos dispositivos permiten una conversión de potencia eficiente y de alto rendimiento en entornos de alta temperatura, alta tensión y alta frecuencia.

2. Dispositivos optoelectrónicos: Las obleas de SiC desempeñan un papel vital en los dispositivos optoelectrónicos, utilizados para fabricar fotodetectores, diodos láser, fuentes ultravioleta, etc. Las propiedades ópticas y electrónicas superiores del carburo de silicio lo convierten en el material de elección, especialmente en aplicaciones que requieren altas temperaturas, altas frecuencias y altos niveles de potencia.

3. Dispositivos de radiofrecuencia (RF): Los chips de SiC también se utilizan para fabricar dispositivos de RF como amplificadores de potencia de RF, conmutadores de alta frecuencia, sensores de RF, etc. Su alta estabilidad térmica, sus características de alta frecuencia y sus bajas pérdidas lo hacen ideal para aplicaciones de RF como las comunicaciones inalámbricas y los sistemas de radar.

4. Electrónica de alta temperatura: debido a su alta estabilidad térmica y elasticidad de la temperatura, las obleas de SiC se utilizan para producir productos electrónicos diseñados para operar en entornos de alta temperatura, incluidos electrónica de potencia, sensores y controladores de alta temperatura.

Las principales aplicaciones del sustrato de carburo de silicio de 8 pulgadas de tipo 4H-N incluyen la fabricación de dispositivos electrónicos de alta temperatura, alta frecuencia y alta potencia, especialmente en los campos de la electrónica automotriz, la energía solar, la generación de energía eólica, las locomotoras eléctricas, los servidores, los electrodomésticos y los vehículos eléctricos. Además, dispositivos como los MOSFET de SiC y los diodos Schottky han demostrado un excelente rendimiento en frecuencias de conmutación, experimentos de cortocircuito y aplicaciones de inversores, lo que impulsa su uso en la electrónica de potencia.

XKH se puede personalizar con diferentes espesores según las necesidades del cliente. Disponemos de diferentes rugosidades superficiales y tratamientos de pulido. Admitimos diversos tipos de dopaje (como el dopaje con nitrógeno). XKH ofrece soporte técnico y servicios de consultoría para garantizar que los clientes resuelvan sus problemas durante el proceso de uso. El sustrato de carburo de silicio de 8 pulgadas ofrece importantes ventajas en cuanto a reducción de costes y mayor capacidad, lo que permite reducir el coste unitario del chip en aproximadamente un 50 % en comparación con el sustrato de 6 pulgadas. Además, el mayor espesor del sustrato de 8 pulgadas ayuda a reducir las desviaciones geométricas y la deformación de los bordes durante el mecanizado, mejorando así el rendimiento.

Diagrama detallado

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