Soporte de sustrato de oblea de zafiro de 150 mm (6 pulgadas), 0,7 mm, 0,5 mm, plano C, SSP/DSP
Aplicaciones
Las aplicaciones de las obleas de zafiro de 6 pulgadas incluyen:
1. Fabricación de LED: la oblea de zafiro se puede utilizar como sustrato de los chips LED, y su dureza y conductividad térmica pueden mejorar la estabilidad y la vida útil de los chips LED.
2. Fabricación láser: La oblea de zafiro también se puede utilizar como sustrato del láser, para ayudar a mejorar el rendimiento del láser y prolongar su vida útil.
3. Fabricación de semiconductores: Las obleas de zafiro se utilizan ampliamente en la fabricación de dispositivos electrónicos y optoelectrónicos, incluyendo síntesis óptica, células solares, dispositivos electrónicos de alta frecuencia, etc.
4. Otras aplicaciones: La oblea de zafiro también se puede utilizar para fabricar pantallas táctiles, dispositivos ópticos, células solares de película delgada y otros productos de alta tecnología.
Especificación
| Material | Cristal único de Al2O3 de alta pureza, oblea de zafiro. |
| Dimensión | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 pulgadas |
| Espesor | 1300 +/- 25 µm |
| Orientación | Plano C (0001) fuera del plano M (1-100) 0,2 +/- 0,05 grados |
| Orientación plana primaria | Un plano +/- 1 grado |
| Longitud plana primaria | 47,5 mm +/- 1 mm |
| Variación total del espesor (TTV) | <20 µm |
| Arco | <25 µm |
| Urdimbre | <25 µm |
| Coeficiente de dilatación térmica | 6,66 x 10⁻⁶ / °C paralelo al eje C, 5 x 10⁻⁶ / °C perpendicular al eje C |
| Resistencia dieléctrica | 4,8 x 10⁵ V/cm |
| Constante dieléctrica | 11,5 (1 MHz) a lo largo del eje C, 9,3 (1 MHz) perpendicular al eje C |
| Tangente de pérdida dieléctrica (también conocida como factor de disipación) | menos de 1 x 10⁻⁴ |
| Conductividad térmica | 40 W/(mK) a 20 ℃ |
| Pulido | Pulido por una cara (SSP) o por ambas caras (DSP) Ra < 0,5 nm (por AFM). La cara posterior de la oblea SSP se pulió finamente hasta Ra = 0,8 - 1,2 µm. |
| Transmitancia | 88 % ±1 % a 460 nm |
Diagrama detallado
