Oblea de zafiro de 156 mm, 159 mm y 6 pulgadas para portador C-Plane DSP TTV

Breve descripción:

Obleas de zafiro pulido de doble cara (DSP) Al2O3 de 156 mm/159 mm de diámetro y 6 ″ con TTV inferior a 3 micrones para placas portadoras.Obleas adicionales de 8″ / 6″ / 5″ / 2″ / 3″ / 4″ / 5″ Eje C, Eje A, Eje R, Eje M.Obleas de zafiro de plano C de hasta 6 pulgadas (6″/6 pulgadas) de diámetro, con superficies pulidas por un solo lado (SSP) o pulidas por ambos lados (DSP), y con espesores de 650 micrones o 1000 micrones.


Detalle del producto

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Especificación

Artículo Obleas de zafiro de plano C (0001) de 6 pulgadas
Materiales de cristal 99,999%, alta pureza, Al2O3 monocristalino
Calificación Prime, listo para Epi
Orientación de la superficie Plano C(0001)
Plano C fuera de ángulo hacia el eje M 0,2 +/- 0,1°
Diámetro 100,0 mm +/- 0,1 mm
Espesor 650 micras +/- 25 micras
Orientación plana primaria Plano C(00-01) +/- 0,2°
Pulido de un solo lado Superficie frontal Epipulido, Ra < 0,2 nm (por AFM)
(SSP) Superficie trasera Molido fino, Ra = 0,8 μm a 1,2 μm
Pulido de doble cara. Superficie frontal Epipulido, Ra < 0,2 nm (por AFM)
(DSP) Superficie trasera Epipulido, Ra < 0,2 nm (por AFM)
televisión < 20 µm
ARCO < 20 µm
DEFORMACIÓN < 20 µm
Limpieza / Embalaje Limpieza de salas blancas y envasado al vacío clase 100,
25 piezas en un embalaje de casete o embalaje de una sola pieza.

Muchas empresas en China utilizan actualmente el método Kylopoulos (método KY) para producir cristales de zafiro para su uso en las industrias electrónica y óptica.

En este proceso se funde óxido de aluminio de alta pureza en un crisol a temperaturas superiores a 2100 grados Celsius.Normalmente el crisol está hecho de tungsteno o molibdeno.Un cristal semilla orientado con precisión se sumerge en la alúmina fundida.El cristal semilla se tira lentamente hacia arriba y se puede girar simultáneamente.Controlando con precisión el gradiente de temperatura, la velocidad de extracción y la velocidad de enfriamiento, se puede producir a partir de la masa fundida un lingote grande, monocristalino y casi cilíndrico.

Una vez cultivados los lingotes de zafiro monocristalino, se perforan en varillas cilíndricas, que luego se cortan al espesor de ventana deseado y finalmente se pulen hasta obtener el acabado superficial deseado.

Diagrama detallado

156 mm 159 mm Oblea de zafiro de 6 pulgadas (1)
156 mm 159 mm Oblea de zafiro de 6 pulgadas (2)
156 mm 159 mm Oblea de zafiro de 6 pulgadas (3)

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