Lingote semiaislante de carburo de silicio 4H-SiC de 6 pulgadas, grado ficticio
Propiedades
1. Propiedades físicas y estructurales
●Tipo de material: carburo de silicio (SiC)
●Politipo: 4H-SiC, estructura cristalina hexagonal
●Diámetro: 6 pulgadas (150 mm)
●Espesor: Configurable (5-15 mm típico para grado ficticio)
●Orientación del cristal:
oPrimario: [0001] (plano C)
oOpciones secundarias: Fuera del eje 4° para un crecimiento epitaxial optimizado
●Orientación plana primaria: (10-10) ± 5°
●Orientación del plano secundario: 90° en sentido antihorario desde el plano principal ± 5°
2. Propiedades eléctricas
●Resistividad:
oSemiaislante (>106^66 Ω·cm), ideal para minimizar la capacitancia parásita.
●Tipo de dopaje:
oDopado involuntariamente, lo que da como resultado una alta resistividad eléctrica y estabilidad en una variedad de condiciones de operación.
3. Propiedades térmicas
●Conductividad térmica: 3,5-4,9 W/cm·K, lo que permite una disipación de calor eficaz en sistemas de alta potencia.
●Coeficiente de expansión térmica: 4,2×10−64,2 \times 10^{-6}4,2×10−6/K, lo que garantiza la estabilidad dimensional durante el procesamiento a alta temperatura.
4. Propiedades ópticas
●Bandgap: Banda prohibida amplia de 3,26 eV, lo que permite el funcionamiento bajo altos voltajes y temperaturas.
●Transparencia: Alta transparencia a las longitudes de onda UV y visibles, útil para pruebas optoelectrónicas.
5. Propiedades mecánicas
●Dureza: Escala de Mohs 9, solo superada por el diamante, lo que garantiza durabilidad durante el procesamiento.
●Densidad de defectos:
oControlado para defectos macro mínimos, asegurando una calidad suficiente para aplicaciones de calidad ficticia.
●Planitud: Uniformidad con desviaciones
Parámetro | Detalles | Unidad |
Calificación | Grado ficticio | |
Diámetro | 150,0 ± 0,5 | mm |
Orientación de las obleas | En el eje: <0001> ± 0,5° | grado |
Resistividad eléctrica | > 1E5 | Ω·cm |
Orientación plana primaria | {10-10} ± 5,0° | grado |
Longitud plana primaria | Muesca | |
Grietas (Inspección con luz de alta intensidad) | < 3 mm en radial | mm |
Placas hexagonales (inspección de luz de alta intensidad) | Área acumulada ≤ 5% | % |
Áreas de politipo (inspección de luz de alta intensidad) | Área acumulada ≤ 10% | % |
Densidad de microtubos | < 50 | cm−2^-2−2 |
Astillado de bordes | Se permiten 3, cada uno ≤ 3 mm | mm |
Nota | El corte de oblea con un espesor < 1 mm, > 70 % (excluyendo dos extremos) cumple con los requisitos anteriores |
Aplicaciones
1. Prototipado e investigación
El lingote de 4H-SiC de 6 pulgadas de calidad ficticia es un material ideal para la creación de prototipos y la investigación, lo que permite a los fabricantes y laboratorios:
●Pruebe los parámetros del proceso en deposición química de vapor (CVD) o deposición física de vapor (PVD).
●Desarrollar y perfeccionar técnicas de grabado, pulido y corte de obleas.
●Explorar nuevos diseños de dispositivos antes de realizar la transición al material de calidad de producción.
2. Calibración y prueba del dispositivo
Las propiedades semiaislantes hacen que este lingote sea invaluable para:
●Evaluación y calibración de las propiedades eléctricas de dispositivos de alta potencia y alta frecuencia.
●Simulación de condiciones operativas para MOSFET, IGBT o diodos en entornos de prueba.
●Sirve como sustituto rentable de sustratos de alta pureza durante el desarrollo en etapa temprana.
3. Electrónica de potencia
La alta conductividad térmica y las características de banda ancha del 4H-SiC permiten un funcionamiento eficiente en electrónica de potencia, incluyendo:
●Fuentes de alimentación de alto voltaje.
●Inversores para vehículos eléctricos (VE).
●Sistemas de energía renovable, como inversores solares y turbinas eólicas.
4. Aplicaciones de radiofrecuencia (RF)
Las bajas pérdidas dieléctricas y la alta movilidad de electrones del 4H-SiC lo hacen adecuado para:
●Amplificadores y transistores de RF en infraestructura de comunicaciones.
●Sistemas de radar de alta frecuencia para aplicaciones aeroespaciales y de defensa.
●Componentes de red inalámbrica para tecnologías 5G emergentes.
5. Dispositivos resistentes a la radiación
Debido a su resistencia inherente a los defectos inducidos por la radiación, el 4H-SiC semiaislante es ideal para:
●Equipos de exploración espacial, incluidos sistemas electrónicos y de energía para satélites.
●Electrónica reforzada con radiación para monitoreo y control nuclear.
●Aplicaciones de defensa que requieren robustez en entornos extremos.
6. Optoelectrónica
La transparencia óptica y el amplio ancho de banda del 4H-SiC permiten su uso en:
●Fotodetectores UV y LED de alta potencia.
●Prueba de recubrimientos ópticos y tratamientos de superficies.
●Prototipado de componentes ópticos para sensores avanzados.
Ventajas del material de grado ficticio
Eficiencia de costos:
El grado ficticio es una alternativa más asequible a los materiales de grado de investigación o producción, lo que lo hace ideal para pruebas de rutina y refinamiento de procesos.
Personalización:
Las dimensiones configurables y las orientaciones de los cristales garantizan la compatibilidad con una amplia gama de aplicaciones.
Escalabilidad:
El diámetro de 6 pulgadas se alinea con los estándares de la industria, lo que permite una adaptación perfecta a procesos de nivel de producción.
Robustez:
La alta resistencia mecánica y la estabilidad térmica hacen que el lingote sea duradero y confiable en diversas condiciones experimentales.
Versatilidad:
Adecuado para múltiples industrias, desde sistemas de energía hasta comunicaciones y optoelectrónica.
Conclusión
El lingote semiaislante de carburo de silicio (4H-SiC) de 6 pulgadas, de grado simulado, ofrece una plataforma fiable y versátil para la investigación, el prototipado y las pruebas en sectores tecnológicos de vanguardia. Sus excepcionales propiedades térmicas, eléctricas y mecánicas, junto con su asequibilidad y posibilidad de personalización, lo convierten en un material indispensable tanto para el ámbito académico como para la industria. Desde la electrónica de potencia hasta los sistemas de radiofrecuencia y los dispositivos endurecidos por radiación, este lingote impulsa la innovación en cada etapa del desarrollo.
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Diagrama detallado



