Oblea de película monocristalina de niobato de litio LNOI de 4 y 6 pulgadas
El proceso de preparación de materiales LNOI se divide principalmente en los siguientes cuatro pasos.
(1) Se inyectaron iones de He en el material de niobato de litio cortado en X a una cierta energía y se introdujeron en la capa de defectos a una cierta profundidad por debajo de la capa superficial de niobato de litio;
(2) El material de niobato de litio implantado con iones se une a un sustrato de silicio con una capa de óxido para formar una estructura de unión;
(3) La estructura de unión se recoció para que los defectos introducidos por la implantación de iones de He evolucionaran y se agregaran formando grietas. Finalmente, el niobato de litio se separó a lo largo de la capa defectuosa para formar las láminas residuales de niobato de litio y las obleas de LNOI.
Aplicaciones y ventajas de la oblea LNOI
Las películas piezoeléctricas de niobato de litio (LNOI) poseen un elevado coeficiente piezoeléctrico y una constante dieléctrica alta, lo que les permite convertir la energía mecánica en energía eléctrica o viceversa. Por ello, se utilizan ampliamente en el campo de los sensores, como los de presión, aceleración y temperatura, entre otros. Además, estas películas también se emplean en dispositivos acústicos y de vibración, como transductores cerámicos piezoeléctricos y filtros cerámicos piezoeléctricos complejos.
2- La estabilidad de la película piezoeléctrica de niobato de litio es otra de sus ventajas. Gracias a la estabilidad de su estructura cristalina y su inercia química, esta película puede funcionar en ambientes adversos como altas temperaturas, alta humedad, ácidos fuertes, álcalis fuertes y otros entornos hostiles, con buena resistencia a la corrosión y durabilidad.
La película piezoeléctrica de niobato de litio es un nuevo material piezoeléctrico con excelente rendimiento y estabilidad, y un amplio potencial de aplicación. Con el continuo desarrollo de la ciencia y la tecnología, esta película se aplicará en más ciudades, aportando mayor comodidad e innovación a la vida de las personas.
Diagrama detallado
