Oblea LNOI de película monocristalina de niobato de litio de 4 pulgadas y 6 pulgadas
El proceso de preparación de materiales LNOI se divide principalmente en los siguientes cuatro pasos
(1) Se inyectaron iones He en el material de niobato de litio cortado en X con una cierta energía y se introdujeron en la capa defectuosa a una cierta profundidad debajo de la capa superficial de niobato de litio;
(2) El material de niobato de litio implantado con iones se une a un sustrato de silicio con una capa de óxido para formar una estructura de unión;
(3) La estructura de unión se recoció para hacer que los defectos introducidos por la implantación de iones He evolucionaran y se agregaran para formar grietas. Finalmente, el niobato de litio se separó a lo largo de la capa defectuosa para formar las rodajas de niobato de litio residuales y las obleas de LNOI.
Aplicaciones y ventajas de la oblea LNOI.
1. Las películas piezoeléctricas de niobato de litio (LNOI) tienen un alto coeficiente piezoeléctrico y una constante dieléctrica, que pueden convertir la energía mecánica en energía eléctrica o la energía eléctrica en energía mecánica. Por lo tanto, se usa ampliamente en el campo de los sensores, como sensores de presión, sensores de aceleración, sensores de temperatura, etc. Además, la película piezoeléctrica de niobato de litio también se puede utilizar en dispositivos acústicos y dispositivos de vibración, como el filtro cerámico piezoeléctrico complejo de transductor cerámico piezoeléctrico.
2-La estabilidad de la película piezoeléctrica de niobato de litio es también una de sus ventajas. Debido a la estabilidad de su estructura cristalina y su inercia química, la película piezoeléctrica de niobato de litio puede funcionar en altas temperaturas, alta humedad, ácidos fuertes, álcalis fuertes y otros ambientes hostiles, con buena resistencia a la corrosión y durabilidad.
La película piezoeléctrica de niobato de litio 3 es un nuevo material piezoeléctrico con excelente rendimiento y estabilidad, y tiene una amplia perspectiva de aplicación. Con el continuo desarrollo de la ciencia y la tecnología, la película piezoeléctrica de niobato de litio se aplicará en más ciudades, aportando más comodidad e innovación a la vida de las personas.
Diagrama detallado
Categorías de productos
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Oblea de capa Epi de GaN de 50,8 mm y 2 pulgadas sobre zafiro
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Oblea SOI de sustrato de silicio sobre aislante tres...
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GaN sobre zafiro de 6 pulgadas
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Plantilla AlN de 50,8 mm/100 mm en plantilla AlN NPSS/FSS...
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Aislador de oblea SOI sobre silicio de 8 y 6 pulgadas...
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100 mm 4 pulgadas GaN en oblea de capa Epi de zafiro Gal ...