Oblea LNOI de película monocristalina de niobato de litio de 4 y 6 pulgadas
El proceso de preparación de materiales LNOI se divide principalmente en los siguientes cuatro pasos
(1) Los iones He se inyectaron en el material de niobato de litio cortado en X a una determinada energía y se introdujeron en la capa defectuosa a una determinada profundidad debajo de la capa superficial de niobato de litio;
(2) El material de niobato de litio implantado con iones se une a un sustrato de silicio con una capa de óxido para formar una estructura de unión;
(3) La estructura de enlace se recoció para que los defectos introducidos por la implantación de iones de He evolucionaran y se agregaran formando grietas. Finalmente, el niobato de litio se separó a lo largo de la capa defectuosa para formar las láminas residuales de niobato de litio y las obleas de LNOI.
Aplicaciones y ventajas de la oblea LNOI
Las películas piezoeléctricas de niobato de litio (LNOI) poseen un coeficiente piezoeléctrico y una constante dieléctrica elevados, lo que les permite convertir la energía mecánica en energía eléctrica o la energía eléctrica en energía mecánica. Por lo tanto, se utilizan ampliamente en sensores como sensores de presión, aceleración y temperatura. Además, también se pueden utilizar en dispositivos acústicos y de vibración, como transductores cerámicos piezoeléctricos y filtros cerámicos piezoeléctricos complejos.
La estabilidad de la película piezoeléctrica de niobato de litio es otra de sus ventajas. Gracias a la estabilidad de su estructura cristalina y su inercia química, la película piezoeléctrica de niobato de litio puede funcionar en entornos con alta temperatura, alta humedad, ácidos fuertes, álcalis fuertes y otros entornos hostiles, con buena resistencia a la corrosión y durabilidad.
La película piezoeléctrica de niobato de litio es un nuevo material piezoeléctrico con excelente rendimiento y estabilidad, y con amplias posibilidades de aplicación. Gracias al continuo desarrollo científico y tecnológico, la película piezoeléctrica de niobato de litio se aplicará en más ciudades, aportando mayor comodidad e innovación a la vida de las personas.
Diagrama detallado
