Producción de obleas de SiC 4H-N/6H-N para investigación, grado ficticio, diámetro de 150 mm, sustrato de carburo de silicio
Especificación del sustrato de carburo de silicio (SiC) de 6 pulgadas de diámetro
| Calificación | MPD cero | Producción | Grado de investigación | Grado ficticio |
| Diámetro | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
| Espesor | 4H-N | 350 ± 25 µm | ||
| 4H-SI | 500 ± 25 µm | |||
| Orientación de las obleas | En el eje: <0001>±0,5° para 4H-SI | |||
| Piso principal | {10-10}±5,0° | |||
| Longitud plana primaria | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
| Exclusión de bordes | 3 mm | |||
| TTV/Arco/Urdimbre | ≤15 um/≤40 um/≤60 um | |||
| Densidad de microtubos | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
| Resistividad 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ω!cm | |||
| ≥1E5Ω!cm | ||||
| Aspereza | Polaco Ra ≤1 nm CMP Ra ≤0,5 nm | |||
| #Grietas por luz de alta intensidad | Ninguno | 1 permitido, ≤2 mm | Longitud acumulada ≤10 mm, longitud única ≤2 mm | |
| *Placas hexagonales de luz de alta intensidad. | Área acumulada ≤1% | Área acumulada ≤ 2% | Área acumulada ≤ 5% | |
| *Áreas de politipo mediante luz de alta intensidad | Ninguno | Área acumulada ≤ 2% | Área acumulada ≤ 5% | |
| *&Rasguños por luz de alta intensidad | 3 rayones en 1 x diámetro de oblea (longitud acumulada) | 5 rayones por cada 1 x diámetro de oblea (longitud acumulada) | 5 arañazos por cada 1 x diámetro de la oblea (longitud acumulada) | |
| Chip de borde | Ninguno | Se permiten 3, ≤0,5 mm cada uno | Se permiten 5, ≤1 mm cada uno | |
| Contaminación por luz de alta intensidad | Ninguno
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Ventas y servicio al cliente
Compra de materiales
El departamento de compras de materiales se encarga de reunir todas las materias primas necesarias para la producción de su producto. La trazabilidad completa de todos los productos y materiales, incluyendo análisis químicos y físicos, está siempre disponible.
Calidad
Durante y después de la fabricación o el mecanizado de sus productos, el departamento de control de calidad se encarga de garantizar que todos los materiales y tolerancias cumplan o superen sus especificaciones.
Servicio
Nos enorgullecemos de contar con un equipo de ingeniería de ventas con más de 5 años de experiencia en la industria de semiconductores. Están capacitados para responder preguntas técnicas y proporcionar cotizaciones oportunas para sus necesidades.
Estamos a su lado en cualquier momento cuando tenga un problema y lo resolvemos en 10 horas.
Diagrama detallado
