4H-N espesor simulado del grado 500um de la investigación del carburo de silicio de la oblea del sustrato de SiC de 8 pulgadas
¿Cómo se eligen obleas de carburo de silicio y sustratos de SiC?
Al elegir obleas y sustratos de carburo de silicio (SiC), hay varios factores a considerar. Aquí hay algunos criterios importantes:
Tipo de material: determine el tipo de material de SiC que se adapta a su aplicación, como 4H-SiC o 6H-SiC. La estructura cristalina más utilizada es 4H-SiC.
Tipo de dopaje: decida si necesita un sustrato de SiC dopado o no. Los tipos de dopaje comunes son el tipo N (dopado n) o el tipo P (dopado p), según sus requisitos específicos.
Calidad del cristal: evalúe la calidad del cristal de las obleas o sustratos de SiC. La calidad deseada está determinada por parámetros como el número de defectos, la orientación cristalográfica y la rugosidad de la superficie.
Diámetro de oblea: elija el tamaño de oblea adecuado según su aplicación. Los tamaños comunes incluyen 2 pulgadas, 3 pulgadas, 4 pulgadas y 6 pulgadas. Cuanto mayor sea el diámetro, más rendimiento podrás obtener por oblea.
Espesor: considere el espesor deseado de las obleas o sustratos de SiC. Las opciones de espesor típicas varían desde unos pocos micrómetros hasta varios cientos de micrómetros.
Orientación: determine la orientación cristalográfica que se alinee con los requisitos de su aplicación. Las orientaciones comunes incluyen (0001) para 4H-SiC y (0001) o (0001̅) para 6H-SiC.
Acabado superficial: Evalúe el acabado superficial de las obleas o sustratos de SiC. La superficie debe estar lisa, pulida y libre de rayones o contaminantes.
Reputación del proveedor: elija un proveedor acreditado con amplia experiencia en la producción de obleas y sustratos de SiC de alta calidad. Considere factores como las capacidades de fabricación, el control de calidad y las opiniones de los clientes.
Costo: considere las implicaciones de costos, incluido el precio por oblea o sustrato y cualquier gasto de personalización adicional.
Es importante evaluar cuidadosamente estos factores y consultar con expertos o proveedores de la industria para garantizar que las obleas y sustratos de SiC elegidos cumplan con los requisitos específicos de su aplicación.