Oblea de zafiro de 156 mm, 159 mm y 6 pulgadas para portador C-Plane DSP TTV
Especificación
Artículo | Obleas de zafiro de plano C (0001) de 6 pulgadas | |
Materiales de cristal | 99,999%, alta pureza, Al2O3 monocristalino | |
Calificación | Prime, listo para Epi | |
Orientación de la superficie | Plano C(0001) | |
Plano C fuera de ángulo hacia el eje M 0,2 +/- 0,1° | ||
Diámetro | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Espesor | 650 micras +/- 25 micras | |
Orientación plana primaria | Plano C(00-01) +/- 0,2° | |
Pulido de un solo lado | Superficie frontal | Epipulido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
(SSP) | Superficie trasera | Molido fino, Ra = 0,8 μm a 1,2 μm |
Pulido de doble cara. | Superficie frontal | Epipulido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
(DSP) | Superficie trasera | Epipulido, Ra < 0,2 nm (por AFM) |
televisión | < 20 µm | |
ARCO | < 20 µm | |
URDIMBRE | < 20 µm | |
Limpieza / Embalaje | Limpieza de salas blancas y envasado al vacío clase 100, | |
25 piezas en un embalaje de casete o embalaje de una sola pieza. |
Muchas empresas en China utilizan actualmente el método Kylopoulos (método KY) para producir cristales de zafiro para su uso en las industrias electrónica y óptica.
En este proceso se funde óxido de aluminio de alta pureza en un crisol a temperaturas superiores a 2100 grados Celsius. Normalmente el crisol está hecho de tungsteno o molibdeno. Un cristal semilla orientado con precisión se sumerge en la alúmina fundida. El cristal semilla se tira lentamente hacia arriba y se puede girar simultáneamente. Controlando con precisión el gradiente de temperatura, la velocidad de extracción y la velocidad de enfriamiento, se puede producir a partir de la masa fundida un lingote grande, monocristalino y casi cilíndrico.
Una vez cultivados los lingotes de zafiro monocristal, se perforan en varillas cilíndricas, que luego se cortan hasta obtener el grosor de ventana deseado y finalmente se pulen hasta obtener el acabado superficial deseado.