Sustrato SIC de 12 pulgadas de carburo de silicio de primera calidad, diámetro 300 mm, tamaño grande 4H-N Adecuado para disipación de calor de dispositivos de alta potencia
Características del producto
1. Alta conductividad térmica: la conductividad térmica del carburo de silicio es más de 3 veces mayor que la del silicio, lo que es adecuado para la disipación de calor de dispositivos de alta potencia.
2. Alta intensidad de campo de ruptura: La intensidad de campo de ruptura es 10 veces mayor que la del silicio, lo que lo hace adecuado para aplicaciones de alta presión.
3. Banda prohibida amplia: la banda prohibida es de 3,26 eV (4H-SiC), adecuada para aplicaciones de alta temperatura y alta frecuencia.
4. Alta dureza: la dureza de Mohs es 9.2, solo superada por el diamante, excelente resistencia al desgaste y resistencia mecánica.
5. Estabilidad química: fuerte resistencia a la corrosión, rendimiento estable en altas temperaturas y entornos hostiles.
6. Gran tamaño: sustrato de 12 pulgadas (300 mm), mejora la eficiencia de producción, reduce el costo unitario.
7. Baja densidad de defectos: tecnología de crecimiento de cristal único de alta calidad para garantizar una baja densidad de defectos y una alta consistencia.
Dirección de aplicación principal del producto
1. Electrónica de potencia:
MOSFET: Se utilizan en vehículos eléctricos, variadores de frecuencia de motores industriales y convertidores de potencia.
Diodos: como los diodos Schottky (SBD), utilizados para rectificación eficiente y conmutación de fuentes de alimentación.
2. Dispositivos de radiofrecuencia:
Amplificador de potencia RF: se utiliza en estaciones base de comunicación 5G y comunicaciones por satélite.
Dispositivos de microondas: Adecuados para sistemas de comunicación por radar e inalámbricos.
3. Vehículos de nueva energía:
Sistemas de accionamiento eléctrico: controladores de motores e inversores para vehículos eléctricos.
Pila de carga: Módulo de potencia para equipos de carga rápida.
4. Aplicaciones industriales:
Inversor de alto voltaje: para control de motores industriales y gestión de energía.
Red inteligente: para transmisión HVDC y transformadores de electrónica de potencia.
5. Aeroespacial:
Electrónica de alta temperatura: adecuada para entornos de alta temperatura de equipos aeroespaciales.
6. Campo de investigación:
Investigación de semiconductores de banda ancha: para el desarrollo de nuevos materiales y dispositivos semiconductores.
El sustrato de carburo de silicio de 12 pulgadas es un material semiconductor de alto rendimiento con excelentes propiedades, como alta conductividad térmica, alta intensidad de campo de ruptura y amplio ancho de banda. Se utiliza ampliamente en electrónica de potencia, dispositivos de radiofrecuencia, vehículos de nuevas energías, control industrial y la industria aeroespacial, y es un material clave para impulsar el desarrollo de la próxima generación de dispositivos electrónicos eficientes y de alta potencia.
Si bien los sustratos de carburo de silicio actualmente tienen menos aplicaciones directas en electrónica de consumo, como las gafas de RA, su potencial en la gestión eficiente de la energía y la electrónica miniaturizada podría respaldar soluciones de suministro de energía ligeras y de alto rendimiento para futuros dispositivos de RA/RV. Actualmente, el principal desarrollo del sustrato de carburo de silicio se concentra en sectores industriales como los vehículos de nuevas energías, la infraestructura de comunicaciones y la automatización industrial, e impulsa el desarrollo de la industria de semiconductores hacia una dirección más eficiente y fiable.
XKH se compromete a proporcionar sustratos SIC de 12" de alta calidad con soporte técnico y servicios integrales, que incluyen:
1. Producción personalizada: según las necesidades del cliente para proporcionar diferente resistividad, orientación del cristal y sustrato de tratamiento de superficie.
2. Optimización de procesos: Brindar a los clientes soporte técnico de crecimiento epitaxial, fabricación de dispositivos y otros procesos para mejorar el rendimiento del producto.
3. Pruebas y certificación: proporcionamos detección de defectos estricta y certificación de calidad para garantizar que el sustrato cumpla con los estándares de la industria.
4. Cooperación en I+D: desarrollar conjuntamente nuevos dispositivos de carburo de silicio con los clientes para promover la innovación tecnológica.
Gráfico de datos
Especificación del sustrato de carburo de silicio (SiC) de 1 2 pulgadas | |||||
Calificación | Producción de ZeroMPD Grado (Grado Z) | Producción estándar Grado (Grado P) | Grado ficticio (Grado D) | ||
Diámetro | 300 mm ~ 305 mm | ||||
Espesor | 4H-N | 750 μm ± 15 μm | 750 μm ± 25 μm | ||
4H-SI | 750 μm ± 15 μm | 750 μm ± 25 μm | |||
Orientación de las obleas | Fuera del eje: 4,0° hacia <1120 >±0,5° para 4H-N, En el eje: <0001>±0,5° para 4H-SI | ||||
Densidad de microtubos | 4H-N | ≤0,4 cm-2 | ≤4 cm-2 | ≤25 cm-2 | |
4H-SI | ≤5 cm-2 | ≤10 cm-2 | ≤25 cm-2 | ||
Resistividad | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Orientación plana primaria | {10-10} ±5,0° | ||||
Longitud plana primaria | 4H-N | N / A | |||
4H-SI | Muesca | ||||
Exclusión de bordes | 3 milímetros | ||||
LTV/TTV/Arco/Urdimbre | ≤5 μm/≤15 μm/≤35 μm/≤55 μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Aspereza | Polaco Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Grietas en los bordes por luz de alta intensidad Placas hexagonales de luz de alta intensidad Áreas de politipos mediante luz de alta intensidad Inclusiones visuales de carbono Rayaduras en la superficie de silicio causadas por luz de alta intensidad | Ninguno Área acumulada ≤0,05% Ninguno Área acumulada ≤0,05% Ninguno | Longitud acumulada ≤ 20 mm, longitud única ≤ 2 mm Área acumulada ≤0,1% Área acumulada ≤ 3% Área acumulada ≤3% Longitud acumulada ≤ 1 × diámetro de la oblea | |||
Chips de borde con luz de alta intensidad | No se permite ninguno ≥0,2 mm de ancho y profundidad | Se permiten 7, ≤1 mm cada uno | |||
(TSD) Dislocación del tornillo de rosca | ≤500 cm-2 | N / A | |||
(BPD) Dislocación del plano base | ≤1000 cm-2 | N / A | |||
Contaminación de la superficie de silicio por luz de alta intensidad | Ninguno | ||||
Embalaje | Casete multi-obleas o contenedor de una sola oblea | ||||
Notas: | |||||
1 Los límites de defectos se aplican a toda la superficie de la oblea, excepto al área de exclusión del borde. 2Los rayones deben comprobarse solo en la cara Si. 3 Los datos de dislocación provienen únicamente de obleas grabadas con KOH. |
XKH seguirá invirtiendo en investigación y desarrollo para impulsar el desarrollo de sustratos de carburo de silicio de 12 pulgadas de gran tamaño, con bajo nivel de defectos y alta consistencia. A la vez, explora sus aplicaciones en áreas emergentes como la electrónica de consumo (como módulos de potencia para dispositivos de RA/RV) y la computación cuántica. Al reducir costes y aumentar la capacidad, XKH impulsará la industria de los semiconductores.
Diagrama detallado


