Etapa de cojinetes de aire de SiC de ultraprecisión

Descripción breve:

Con la continua evolución de la industria de semiconductores, los equipos de procesamiento e inspección exigen un rendimiento cada vez mayor. Basándonos en nuestra amplia experiencia en control de movimiento y posicionamiento nanométrico, hemos desarrollado una platina plana de doble eje tipo H con cojinetes de aire de ultraprecisión.

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Características

Diagrama detallado

Descripción general

Diseñada con una estructura cerámica de carburo de silicio (SiC) optimizada por elementos finitos y tecnología de cojinetes de aire compensados, la platina ofrece una precisión, rigidez y respuesta dinámica excepcionales. Es ideal para:

Procesamiento e inspección de semiconductores
Fabricación y metrología micro/nano
Corte y pulido a escala nanométrica
Escaneo de precisión de alta velocidad

Características principales

Guía de aire con cojinetes de SiCpara una rigidez y precisión ultraaltas
Alta dinámica: velocidad hasta 1 m/s, aceleración hasta 4 g, asentamiento rápido
Eje Y de pórtico de doble accionamientogarantiza una alta capacidad de carga y estabilidad
Opciones del codificador: rejilla óptica o interferómetro láser
Precisión de posicionamiento:±0,15 μm;repetibilidad:±75 nm
Enrutamiento de cables optimizadoPara un diseño limpio y confiabilidad a largo plazo
Configuraciones personalizablespara necesidades específicas de la aplicación

Diseño de ultraprecisión y arquitectura de accionamiento directo sin contacto

Marco de cerámica de SiC:~5 veces la rigidez de la aleación de aluminio y ~5 veces menor expansión térmica, lo que garantiza estabilidad a alta velocidad y robustez térmica.
Cojinete de aire compensado:El diseño propietario mejora la rigidez, la capacidad de carga y la estabilidad del movimiento.
Rendimiento dinámico:Admite una velocidad de 1 m/s y una aceleración de 4 g, ideal para procesos de alto rendimiento.
Integración perfecta:Compatible con sistemas de aislamiento de vibraciones, etapas rotatorias, módulos de inclinación y plataformas de manipulación de obleas.
Gestión de cables:El radio de curvatura controlado minimiza la tensión para una vida útil más prolongada.

Motor lineal sin núcleo:Movimiento suave sin fuerza de frenado.
Accionamiento multimotor:La ubicación del motor en el plano de carga mejora la rectitud, la planitud y la precisión angular.
Aislamiento térmico:Los motores están aislados de la estructura del escenario; refrigeración por aire o agua opcional para ciclos de trabajo elevados.

Presupuesto

Modelo	400-400	500-500	600-600
Ejes	X (escaneo) / Y (paso)	X (escaneo) / Y (paso)	X (escaneo) / Y (paso)
Recorrido (mm)	400/400	500/500	600/600
Precisión (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Repetibilidad (nm)	±75	±100	±100
Resolución (nm)	0.3	0.3	0.3
Velocidad máxima (m/s)	1	1	1
Aceleración (g)	4	4	4
Rectitud (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Estabilidad (nm)	±5	±5	±5
Carga máxima (kg)	20	20	20
Inclinación/balanceo/guiñada (arco-segundos)	±1	±1	±1

Condiciones de prueba:

Suministro de aire: limpio, seco; punto de rocío ≤ 0 °F; filtración de partículas ≤ 0,25 μm; o 99,99 % de nitrógeno.
Precisión medida 25 mm por encima del centro de la platina a 20 ± 1 °C, 40–60 % de humedad relativa.

Aplicaciones

Litografía, inspección y manipulación de obleas de semiconductores
Fabricación micro/nano y metrología de precisión
Fabricación de óptica de alta gama e interferometría
Investigación aeroespacial y científica avanzada

Preguntas frecuentes: Etapa de cojinetes de aire de carburo de silicio

1. ¿Qué es una etapa de soporte de aire?

Una plataforma con cojinetes de aire utiliza una película delgada de aire presurizado entre la plataforma y la guía para proporcionarMovimiento sin fricción, sin desgaste y ultra suaveA diferencia de los cojinetes mecánicos convencionales, elimina el efecto stick-slip, ofrece precisión a nivel nanométrico y garantiza confiabilidad a largo plazo.

2. ¿Por qué utilizar carburo de silicio (SiC) para la estructura del escenario?

Alta rigidez:~5 veces el de la aleación de aluminio, lo que minimiza la deformación durante el movimiento dinámico.
Baja expansión térmica:~5× más bajo que el aluminio, manteniendo la precisión bajo variaciones de temperatura.
Ligero:Menor densidad en comparación con el acero, lo que permite un funcionamiento a alta velocidad y alta aceleración.
Excelente estabilidad:Amortiguación y rigidez superiores para un posicionamiento de ultra precisión.

3. ¿El escenario requiere lubricación o mantenimiento?

No se necesita lubricación tradicional ya que haysin contacto mecánicoEl mantenimiento recomendado incluye:

Abastecimientoaire comprimido o nitrógeno limpio y seco
Inspección periódica de filtros y secadores
Monitoreo de cables y sistemas de refrigeración

4. ¿Cuáles son los requisitos de suministro de aire?

Punto de rocío: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtración de partículas: ≤ 0,25 μm
Aire limpio y seco o nitrógeno puro al 99,99 %
Presión estable con fluctuación mínima

Sobre nosotros

XKH se especializa en el desarrollo, la producción y la venta de vidrio óptico especial y nuevos materiales cristalinos de alta tecnología. Nuestros productos se utilizan en la electrónica óptica, la electrónica de consumo y el sector militar. Ofrecemos componentes ópticos de zafiro, cubiertas para lentes de teléfonos móviles, cerámica, LT, SIC de carburo de silicio, cuarzo y obleas de cristal semiconductor. Gracias a nuestra experiencia y equipos de vanguardia, nos destacamos en el procesamiento de productos no estándar, con el objetivo de convertirnos en una empresa líder en materiales optoelectrónicos de alta tecnología.