TGV Sustratos de vidrio Oblea de 12 pulgadas Punzonado de vidrio
Los sustratos de vidrio funcionan mejor en términos de propiedades térmicas, estabilidad física y son más resistentes al calor y menos propensos a sufrir problemas de deformación o deformación debido a las altas temperaturas;
Además, las propiedades eléctricas únicas del núcleo de vidrio permiten menores pérdidas dieléctricas, lo que permite una transmisión de señal y potencia más clara. Como resultado, se reduce la pérdida de energía durante la transmisión de la señal y la eficiencia general del chip aumenta naturalmente. El espesor del sustrato del núcleo de vidrio se puede reducir aproximadamente a la mitad en comparación con el plástico ABF, y el adelgazamiento mejora la velocidad de transmisión de la señal y la eficiencia energética.
Tecnología de formación de agujeros de TGV:
El método de grabado inducido por láser se utiliza para inducir una zona de desnaturalización continua mediante láser pulsado y luego el vidrio tratado con láser se coloca en una solución de ácido fluorhídrico para grabar. La velocidad de grabado del vidrio con zona de desnaturalización en ácido fluorhídrico es más rápida que la del vidrio no desnaturalizado para formar agujeros pasantes.
Llenado del TGV:
En primer lugar se realizan los agujeros ciegos del TGV. En segundo lugar, la capa de semillas se depositó dentro del agujero ciego del TGV mediante deposición física de vapor (PVD). En tercer lugar, la galvanoplastia ascendente logra un llenado perfecto del TGV; Finalmente, mediante unión temporal, esmerilado posterior, pulido químico mecánico (CMP), exposición al cobre, desunión, formando una placa de transferencia rellena de metal TGV.