Brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio (SiC) para sistemas de manipulación crítica
Diagrama detallado


Introducción del brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio
ElBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioEs un componente de vanguardia desarrollado para la automatización industrial avanzada, el procesamiento de semiconductores y entornos ultralimpios. Su distintiva arquitectura bifurcada y su superficie cerámica ultraplana lo hacen ideal para la manipulación de sustratos delicados, como obleas de silicio, paneles de vidrio y dispositivos ópticos. Diseñado con precisión y fabricado con carburo de silicio ultrapuro, elBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioOfrece una resistencia mecánica, confiabilidad térmica y control de la contaminación inigualables.
A diferencia de los brazos convencionales de metal o plástico, elBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioOfrece un rendimiento estable en condiciones térmicas, químicas y de vacío extremas. Ya sea operando en una sala limpia de Clase 1 o en una cámara de plasma de alto vacío, este componente garantiza un transporte seguro, eficiente y sin residuos de piezas valiosas.
Con una estructura diseñada para brazos robóticos, manipuladores de obleas y herramientas de transferencia automatizadas, elBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioEs una actualización inteligente para cualquier sistema de alta precisión.


Proceso de fabricación de brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio
Creando un alto rendimientoBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioimplica un flujo de trabajo de ingeniería cerámica estrictamente controlado que garantiza repetibilidad, confiabilidad y tasas de defectos ultrabajas.
1. Ingeniería de materiales
En la fabricación se utiliza exclusivamente polvo de carburo de silicio de pureza ultraalta.Brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio, lo que garantiza una baja contaminación iónica y una alta resistencia volumétrica. Los polvos se mezclan con precisión con aditivos de sinterización y aglutinantes para lograr una densificación óptima.
2. Formación de la estructura base
La geometría base de labrazo/mano de horquillaSe forma mediante prensado isostático en frío o moldeo por inyección, lo que garantiza una alta densidad en verde y una distribución uniforme de la tensión. La configuración en forma de U está optimizada para una buena relación rigidez-peso y una respuesta dinámica.
3. Proceso de sinterización
El cuerpo verde de laBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioSe sinteriza en un horno de gas inerte de alta temperatura a más de 2000 °C. Este paso garantiza una densidad cercana a la teórica, lo que produce un componente resistente al agrietamiento, la deformación y la desviación dimensional bajo cargas térmicas reales.
4. Rectificado y mecanizado de precisión
Se utilizan herramientas de diamante CNC avanzadas para dar forma a las dimensiones finales de laBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioLas tolerancias estrictas (±0,01 mm) y el acabado superficial a nivel de espejo reducen la liberación de partículas y la tensión mecánica.
5. Acondicionamiento y limpieza de superficies
El acabado final de la superficie incluye pulido químico y limpieza ultrasónica para preparar labrazo/mano de horquillaPara integración directa en sistemas ultralimpios. También están disponibles recubrimientos opcionales (CVD-SiC, capas antirreflectantes).
Este meticuloso proceso garantiza que cadaBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioCumple con los estándares industriales más estrictos, incluidos los requisitos de salas blancas SEMI e ISO.
Parámetros del brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio
Artículo | Condiciones de prueba | Datos | Unidad |
Contenido de carburo de silicio | / | >99.5 | % |
Tamaño promedio de grano | / | 4-10 | micrón |
Densidad | / | >3.14 | g/cm3 |
Porosidad aparente | / | <0,5 | % Vol. |
Dureza Vickers | HV0.5 | 2800 | kg/mm2 |
Módulo de ruptura (3 puntos) | Tamaño de la barra de prueba: 3 x 4 x 40 mm | 450 | MPa |
Resistencia a la compresión | 20°C | 3900 | MPa |
Módulo de elasticidad | 20°C | 420 | GPa |
Tenacidad a la fractura | / | 3.5 | MPa/m1/2 |
Conductividad térmica | 20°C | 160 | W/(mK) |
Resistividad eléctrica | 20°C | 106-108 | Ωcm |
Coeficiente de expansión térmica | 20°C-800°C | 4.3 | K-110-6 |
Temperatura máxima de aplicación | Atmósfera de óxido | 1600 | °C |
Temperatura máxima de aplicación | Atmósfera inerte | 1950 | °C |
Aplicaciones del brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio
ElBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioEstá diseñado para su uso en aplicaciones de alta precisión, alto riesgo y sensibles a la contaminación. Permite la manipulación, transferencia y soporte fiables de componentes críticos sin comprometer la seguridad.
➤ Industria de semiconductores
-
Se utiliza como horquilla robótica en estaciones de transferencia de obleas de front-end y FOUP.
-
Integrado en cámaras de vacío para procesos de grabado de plasma y PVD/CVD.
-
Funciona como brazo portador en herramientas de metrología y alineación de obleas.
ElBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioElimina los riesgos de descarga electrostática (ESD), favorece la precisión dimensional y resiste la corrosión del plasma.
➤ Fotónica y Óptica
-
Admite lentes delicados, cristales láser y sensores durante la fabricación o inspección.
Su alta rigidez evita la vibración, mientras que el cuerpo cerámico resiste la contaminación de las superficies ópticas.
➤ Producción de displays y paneles
-
Manipula vidrio delgado, módulos OLED y sustratos LCD durante el transporte o la inspección.
El plano y químicamente inerteBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioProtege contra rayaduras o grabado químico.
➤ Instrumentos aeroespaciales y científicos
-
Se utiliza en ensamblajes de óptica satelital, robótica de vacío y configuraciones de líneas de haz de sincrotrón.
Funciona impecablemente en salas blancas de grado espacial y entornos propensos a la radiación.
En cada campo, elBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioMejora la eficiencia del sistema, reduce las fallas de las piezas y minimiza el tiempo de inactividad.

Preguntas frecuentes sobre el brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio
P1: ¿Qué hace que el brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio sea mejor que las alternativas de metal?
ElBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioTiene mayor dureza, menor densidad, mejor resistencia química y una expansión térmica significativamente menor que los metales. Además, es compatible con salas blancas y no presenta corrosión ni generación de partículas.
P2: ¿Puedo solicitar dimensiones personalizadas para mi brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio?
Sí. Ofrecemos personalización completa, incluyendo el ancho y el grosor de la horquilla, los orificios de montaje, los cortes y los tratamientos de superficie. Ya sea para obleas de 6", 8" o 12", subrazo/mano de horquillaSe puede adaptar para que se ajuste.
P3: ¿Cuánto dura el brazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio bajo plasma o vacío?
Gracias al material de SiC de alta densidad y a la naturaleza inerte, elbrazo/mano de horquillaPermanece funcional incluso después de miles de ciclos de proceso. Presenta un desgaste mínimo bajo cargas térmicas agresivas de plasma o vacío.
P4: ¿El producto es adecuado para salas blancas ISO Clase 1?
Por supuesto. ElBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioSe fabrica y envasa en instalaciones de salas blancas certificadas, con niveles de partículas muy por debajo de los requisitos ISO Clase 1.
Q5: ¿Cuál es la temperatura máxima de funcionamiento para este brazo/mano de horquilla?
ElBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicioPuede funcionar de forma continua hasta 1500 °C, lo que lo hace adecuado para uso directo en cámaras de proceso de alta temperatura y sistemas de vacío térmico.
Estas preguntas frecuentes reflejan las inquietudes técnicas más comunes de los ingenieros, administradores de laboratorio e integradores de sistemas que utilizan elBrazo/mano de horquilla de cerámica de carburo de silicio.
Sobre nosotros
XKH se especializa en el desarrollo, la producción y la venta de vidrio óptico especial y nuevos materiales cristalinos de alta tecnología. Nuestros productos se utilizan en la electrónica óptica, la electrónica de consumo y el sector militar. Ofrecemos componentes ópticos de zafiro, cubiertas para lentes de teléfonos móviles, cerámica, LT, SIC de carburo de silicio, cuarzo y obleas de cristal semiconductor. Gracias a nuestra experiencia y equipos de vanguardia, nos destacamos en el procesamiento de productos no estándar, con el objetivo de convertirnos en una empresa líder en materiales optoelectrónicos de alta tecnología.
