Ventosa de bandeja de cerámica de carburo de silicio. Suministro de tubos de cerámica de carburo de silicio. Sinterización a alta temperatura. Procesamiento personalizado.
Características principales:
1. Bandeja cerámica de carburo de silicio
- Alta dureza y resistencia al desgaste: su dureza es similar a la del diamante y puede soportar el desgaste mecánico durante el procesamiento de obleas durante mucho tiempo.
- Alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica: rápida disipación del calor y estabilidad dimensional, evitando la deformación causada por la tensión térmica.
- Alta planitud y acabado superficial: La planitud de la superficie alcanza el nivel de micras, lo que garantiza un contacto total entre la oblea y el disco, reduciendo la contaminación y los daños.
Estabilidad química: Gran resistencia a la corrosión, adecuada para procesos de limpieza húmeda y grabado en la fabricación de semiconductores.
2. Tubo cerámico de carburo de silicio
- Resistencia a altas temperaturas: Puede funcionar en entornos de alta temperatura superiores a 1600 °C durante un tiempo prolongado, lo que lo hace adecuado para procesos de semiconductores a alta temperatura.
Excelente resistencia a la corrosión: resistente a ácidos, álcalis y una variedad de disolventes químicos, adecuado para entornos de proceso exigentes.
- Alta dureza y resistencia al desgaste: resisten la erosión por partículas y el desgaste mecánico, prolongando su vida útil.
- Alta conductividad térmica y bajo coeficiente de dilatación térmica: rápida conducción del calor y estabilidad dimensional, reduciendo la deformación o el agrietamiento causados por la tensión térmica.
Parámetro del producto:
Parámetro de la bandeja cerámica de carburo de silicio:
| (Propiedad del material) | (Unidad) | (ssic) | |
| (Contenido de SiC) | (en peso)% | >99 | |
| (Tamaño medio del grano) | micrón | 4-10 | |
| (Densidad) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porosidad aparente) | Vo1% | <0,5 | |
| (Dureza Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Resistencia a la flexión* (tres puntos) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Resistencia a la compresión) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Módulo de elasticidad) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Tenacidad a la fractura) | MPa/m²% | 3.5 | |
| (Conductividad térmica) | 20 °C | W/(m*K) | 160 |
| (Resistividad) | 20 °C | Ohm·cm | 106-108 |
(Coeficiente de dilatación térmica) | a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura máxima de funcionamiento) | °C | 1700 | |
Parámetro del tubo cerámico de carburo de silicio:
| Elementos | Índice |
| α-SIC | 99% mínimo |
| Porosidad aparente | 16% máximo |
| Densidad aparente | 2,7 g/cm³ min |
| Resistencia a la flexión a alta temperatura | 100 MPa min |
| Coeficiente de dilatación térmica | K-1 4,7 x 10⁻⁶ |
| Coeficiente de conductividad térmica (1400ºC) | 24 W/mk |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 1650ºC |
Aplicaciones principales:
1. Placa cerámica de carburo de silicio
- Corte y pulido de obleas: sirve como plataforma de apoyo para garantizar una alta precisión y estabilidad durante el corte y el pulido.
- Proceso de litografía: La oblea se fija en la máquina de litografía para garantizar un posicionamiento de alta precisión durante la exposición.
- Pulido químico-mecánico (CMP): actúa como plataforma de soporte para las almohadillas de pulido, proporcionando una distribución uniforme de la presión y el calor.
2. Tubo cerámico de carburo de silicio
- Tubo para horno de alta temperatura: se utiliza en equipos de alta temperatura, como hornos de difusión y hornos de oxidación, para transportar obleas para tratamientos de procesos a alta temperatura.
- Proceso CVD/PVD: Como tubo de soporte en la cámara de reacción, resistente a altas temperaturas y gases corrosivos.
- Accesorios para equipos semiconductores: para intercambiadores de calor, tuberías de gas, etc., para mejorar la eficiencia de la gestión térmica de los equipos.
XKH ofrece una gama completa de servicios personalizados para bandejas, ventosas y tubos de cerámica de carburo de silicio. Las bandejas y ventosas de cerámica de carburo de silicio se pueden personalizar según los requisitos del cliente en cuanto a tamaños, formas y rugosidad superficial, y se ofrecen tratamientos de recubrimiento especiales para mejorar la resistencia al desgaste y a la corrosión. En cuanto a los tubos de cerámica de carburo de silicio, XKH puede personalizar una variedad de diámetros interiores y exteriores, longitudes y estructuras complejas (como tubos con formas especiales o porosos), y proporciona procesos de pulido, recubrimiento antioxidante y otros tratamientos superficiales. XKH garantiza que los clientes puedan aprovechar al máximo las ventajas de rendimiento de los productos de cerámica de carburo de silicio para satisfacer las exigentes necesidades de sectores de fabricación de alta gama como semiconductores, LED y energía fotovoltaica.
Diagrama detallado
