Ventosa de bandeja de cerámica de carburo de silicio Suministro de tubo de cerámica de carburo de silicio Procesamiento personalizado de sinterización a alta temperatura
Características principales:
1. Bandeja de cerámica de carburo de silicio
- Alta dureza y resistencia al desgaste: la dureza es cercana a la del diamante y puede soportar el desgaste mecánico en el procesamiento de obleas durante mucho tiempo.
- Alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica: rápida disipación del calor y estabilidad dimensional, evitando deformaciones provocadas por estrés térmico.
- Alta planitud y acabado superficial: La planitud de la superficie es hasta el nivel de micras, lo que garantiza un contacto total entre la oblea y el disco, reduciendo la contaminación y los daños.
Estabilidad química: Fuerte resistencia a la corrosión, adecuado para procesos de limpieza húmeda y grabado en la fabricación de semiconductores.
2. Tubo cerámico de carburo de silicio
- Resistencia a altas temperaturas: puede funcionar en entornos de alta temperatura superiores a 1600 °C durante mucho tiempo, adecuado para procesos de semiconductores de alta temperatura.
Excelente resistencia a la corrosión: resistente a ácidos, álcalis y una variedad de solventes químicos, adecuado para entornos de procesos hostiles.
- Alta dureza y resistencia al desgaste: resiste la erosión de partículas y el desgaste mecánico, prolonga la vida útil.
- Alta conductividad térmica y bajo coeficiente de expansión térmica: rápida conducción del calor y estabilidad dimensional, reduciendo la deformación o agrietamiento causado por el estrés térmico.
Parámetros del producto:
Parámetros de la bandeja de cerámica de carburo de silicio:
| (Propiedad material) | (Unidad) | (sic) | |
| (Contenido de SiC) | (Peso)% | >99 | |
| (Tamaño medio de grano) | micrón | 4-10 | |
| (Densidad) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Porosidad aparente) | Vo1% | <0,5 | |
| (Dureza Vickers) | Alto voltaje 0,5 | GPa | 28 |
| *() Resistencia a la flexión* (tres puntos) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Resistencia a la compresión) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Módulo elástico) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Tenacidad a la fractura) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Conductividad térmica) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Resistividad) | 20°ºC | Ohm.cm | 106-108 |
(Coeficiente de expansión térmica) | a(TA**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Temperatura máxima de funcionamiento) | oºC | 1700 | |
Parámetros del tubo cerámico de carburo de silicio:
| Elementos | Índice |
| α-SIC | 99% mínimo |
| Porosidad aparente | 16% máximo |
| Densidad aparente | 2,7 g/cm3 mín. |
| Resistencia a la flexión a alta temperatura | 100 Mpa min |
| Coeficiente de expansión térmica | K-1 4.7x10-6 |
| Coeficiente de conductividad térmica (1400ºC) | 24 W/mk |
| Temperatura máxima de trabajo | 1650ºC |
Aplicaciones principales:
1. Placa cerámica de carburo de silicio
- Corte y pulido de obleas: sirve como plataforma de apoyo para garantizar una alta precisión y estabilidad durante el corte y el pulido.
- Proceso de litografía: La oblea se fija en la máquina de litografía para garantizar un posicionamiento de alta precisión durante la exposición.
- Pulido Químico Mecánico (CMP): actúa como una plataforma de soporte para las almohadillas de pulido, proporcionando una presión uniforme y distribución del calor.
2. Tubo cerámico de carburo de silicio
- Tubo de horno de alta temperatura: se utiliza para equipos de alta temperatura, como hornos de difusión y hornos de oxidación, para transportar obleas para el tratamiento de procesos de alta temperatura.
- Proceso CVD/PVD: Como tubo de apoyo en la cámara de reacción, resistente a altas temperaturas y gases corrosivos.
- Accesorios para equipos semiconductores: para intercambiadores de calor, gasoductos, etc., para mejorar la eficiencia de gestión térmica de los equipos.
XKH ofrece una gama completa de servicios personalizados para bandejas, ventosas y tubos de cerámica de carburo de silicio. Las bandejas y ventosas de cerámica de carburo de silicio de XKH se pueden personalizar según los requisitos del cliente en diferentes tamaños, formas y rugosidades superficiales, y admiten tratamientos de recubrimiento especiales para mejorar la resistencia al desgaste y a la corrosión. Para los tubos de cerámica de carburo de silicio, XKH puede personalizar diversos diámetros interiores, exteriores, longitudes y estructuras complejas (como tubos conformados o porosos), además de proporcionar pulido, recubrimiento antioxidante y otros procesos de tratamiento de superficies. XKH garantiza que los clientes aprovechen al máximo las ventajas de rendimiento de los productos de cerámica de carburo de silicio para satisfacer las exigentes necesidades de los sectores de fabricación de alta gama, como semiconductores, LED y fotovoltaica.
Diagrama detallado
