Paleta voladiza de carburo de silicio (paleta voladiza de SiC)

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Características

Diagrama detallado

Descripción general del producto

La paleta voladiza de carburo de silicio, fabricada a partir de carburo de silicio unido por reacción (RBSiC) de alto rendimiento, es un componente crítico utilizado en sistemas de carga y manipulación de obleas para aplicaciones de semiconductores y fotovoltaicas.
En comparación con las paletas tradicionales de cuarzo o grafito, las paletas cantilever de SiC ofrecen una resistencia mecánica superior, alta dureza, baja expansión térmica y una excelente resistencia a la corrosión. Mantienen una excelente estabilidad estructural a altas temperaturas, cumpliendo con los estrictos requisitos de obleas de gran tamaño, una vida útil prolongada y una contaminación ultrabaja.

Con el desarrollo continuo de los procesos de semiconductores hacia diámetros de obleas mayores, mayor rendimiento y entornos de procesamiento más limpios, las paletas voladizas de SiC han reemplazado gradualmente a los materiales convencionales, convirtiéndose en la opción preferida para hornos de difusión, LPCVD y equipos de alta temperatura relacionados.

Características del producto

Excelente estabilidad a altas temperaturas
- Funciona de forma fiable a 1000–1300 ℃ sin deformarse.
- Temperatura máxima de servicio hasta 1380℃.
Alta capacidad de carga
- Resistencia a la flexión de hasta 250–280 MPa, mucho mayor que las paletas de cuarzo.
- Capaz de manipular obleas de gran diámetro (300 mm y más).
Vida útil prolongada y bajo mantenimiento
- Coeficiente de expansión térmica bajo (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), compatible con materiales de recubrimiento LPCVD.
- Reduce las grietas y descamaciones inducidas por estrés, extendiendo significativamente los ciclos de limpieza y mantenimiento.
Resistencia a la corrosión y pureza
- Excelente resistencia a ácidos y álcalis.
- Microestructura densa con porosidad abierta <0,1%, minimizando la generación de partículas y liberación de impurezas.
Diseño compatible con la automatización
- Geometría transversal estable con alta precisión dimensional.
- Se integra perfectamente con los sistemas robóticos de carga y descarga de obleas, lo que permite una producción totalmente automatizada.

Propiedades físicas y químicas

Artículo	Unidad	Datos
Temperatura máxima de servicio	°C	1380
Densidad	g/cm³	3.04 – 3.08
Porosidad abierta	%	< 0,1
Resistencia a la flexión	MPa	250 (20 ℃), 280 (1200 ℃)
Módulo de elasticidad	GPa	330 (20 ℃), 300 (1200 ℃)
Conductividad térmica	W/m·K	45 (1200℃)
Coeficiente de expansión térmica	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Dureza Vickers	HV2	≥ 2100
Resistencia a ácidos y álcalis	-	Excelente

Longitudes estándar:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Dimensiones personalizadas disponibles a pedido

Aplicaciones

Industria de semiconductores
- LPCVD (deposición química de vapor a baja presión)
- Procesos de difusión (fósforo, boro, etc.)
- Oxidación térmica
Industria fotovoltaica
- Difusión y recubrimiento de obleas de polisilicio y monocristalinas
- Recocido y pasivación a alta temperatura
Otros campos
- Ambientes corrosivos de alta temperatura
- Sistemas de manipulación de obleas de precisión que requieren una larga vida útil y baja contaminación

Beneficios para el cliente

Costos operativos reducidos– Mayor vida útil en comparación con las paletas de cuarzo, lo que minimiza el tiempo de inactividad y la frecuencia de reemplazo.
Mayor rendimiento– La contaminación extremadamente baja garantiza la limpieza de la superficie de la oblea y reduce las tasas de defectos.
A prueba de futuro– Compatible con obleas de gran tamaño y procesos de semiconductores de próxima generación.
Productividad mejorada– Totalmente compatible con sistemas de automatización robótica, lo que permite la fabricación de gran volumen.

Preguntas frecuentes sobre paletas voladizas de carburo de silicio

P1: ¿Qué es una paleta voladiza de carburo de silicio?
R: Es un componente de soporte y manipulación de obleas fabricado con carburo de silicio ligado por reacción (RBSiC). Se utiliza ampliamente en hornos de difusión, LPCVD y otros procesos de semiconductores y fotovoltaicos de alta temperatura.

P2: ¿Por qué elegir paletas de SiC en lugar de paletas de cuarzo?
R: En comparación con las paletas de cuarzo, las paletas de SiC ofrecen:

Mayor resistencia mecánica y capacidad de carga.
Mejor estabilidad térmica a temperaturas de hasta 1380 ℃
Vida útil mucho más larga y ciclos de mantenimiento reducidos
Menor generación de partículas y riesgo de contaminación
Compatibilidad con tamaños de obleas más grandes (300 mm y más)

P3: ¿Qué tamaños de obleas puede soportar la paleta voladiza de SiC?
R: Hay paletas estándar disponibles para sistemas de hornos de 2378 mm, 2550 mm y 2660 mm. Disponemos de dimensiones personalizadas para obleas de hasta 300 mm y más.

Sobre nosotros

XKH se especializa en el desarrollo, la producción y la venta de vidrio óptico especial y nuevos materiales cristalinos de alta tecnología. Nuestros productos se utilizan en la electrónica óptica, la electrónica de consumo y el sector militar. Ofrecemos componentes ópticos de zafiro, cubiertas para lentes de teléfonos móviles, cerámica, LT, SIC de carburo de silicio, cuarzo y obleas de cristal semiconductor. Gracias a nuestra experiencia y equipos de vanguardia, nos destacamos en el procesamiento de productos no estándar, con el objetivo de convertirnos en una empresa líder en materiales optoelectrónicos de alta tecnología.