Tubo de zafiro, varillas de zafiro de forma especial para alta presión KY y EFG
Descripción
Las varillas de zafiro se utilizan en una amplia gama de aplicaciones. Una varilla de zafiro puede fabricarse con todas las superficies pulidas para aplicaciones ópticas y antidesgaste, o con todas las superficies finamente esmeriladas (sin pulir) para que sirva como aislante.
Tecnología
Durante el proceso de extracción de tubos de zafiro de una masa fundida con ayuda de una semilla, el gradiente longitudinal de temperatura en la zona comprendida entre el frente solidificado y la región de extracción, donde la temperatura se sitúa entre 1850 y 1900 °C, se mantiene a no más de 30 °C/cm. El tubo así formado se recoce a una temperatura de entre 1950 y 2000 °C aumentando la temperatura a una velocidad de 30 a 40 °C/min y manteniéndolo a dicha temperatura durante 3 a 4 horas. Posteriormente, se enfría a temperatura ambiente a una velocidad de 30 a 40 °C/min.
Aplicaciones de procesamiento de semiconductores:
(HPD CVD, PECVD, grabado seco, grabado húmedo)
Tubo aplicador de plasma
Boquillas inyectoras de gas de proceso
Detector de punto final
Tubos excimer corona
Tubos de contención de plasma
La máquina selladora de tubos por plasma es un dispositivo utilizado para encapsular componentes electrónicos. Su principio consiste en utilizar la alta temperatura y presión del plasma para fundir el material de empaque y encapsularlo sobre el componente. Los componentes principales de la máquina selladora de tubos por plasma incluyen el generador de plasma, la cámara de sellado de tubos, el sistema de vacío, el sistema de control, etc.
Vaina de protección de termopar (termopozo): El termopar es un elemento de medición de temperatura comúnmente utilizado en instrumentos de medición de temperatura, mide directamente la temperatura y convierte la señal de temperatura en una señal de fuerza electromotriz termoeléctrica, a través del instrumento eléctrico (instrumento secundario) en la temperatura del medio medido.
Tratamiento/limpieza de agua
Propiedades del tubo de zafiro (teóricas)
| Fórmula compuesta | Al2O3 |
| Peso molecular | 101.96 |
| Apariencia | Tubos translúcidos |
| Punto de fusión | 2050 °C (3720 °F) |
| Punto de ebullición | 2.977 °C (5.391 °F) |
| Densidad | 4,0 g/cm3 |
| Morfología | Trigonal (hexadecimal), R3c |
| Solubilidad en H2O | 98 x 10-6 g/100 g |
| Índice de refracción | 1.8 |
| Resistividad eléctrica | 17 10x Ω-m |
| Coeficiente de Poisson | 0,28 |
| Calor específico | 760 J Kg-1 K-1 (293 K) |
| Resistencia a la tracción | 1390 MPa (máximo) |
| Conductividad térmica | 30 W/mK |
| Expansión térmica | 5,3 µm/mK |
| Módulo de Young | 450 GPa |
| Masa exacta | 101,948 g/mol |
| Masa monoisotópica | 101.94782 Da |
Diagrama detallado
