Pasadores de elevación de zafiro premium Pasador de elevación de oblea de cristal único Al₂O₃
Parámetros técnicos
| Composición química | Al2O3 |
| Dureza | 9Mohs |
| Naturaleza óptica | Uniaxial |
| Índice de refracción | 1.762-1.770 |
| Birrefringencia | 0,008-0,010 |
| Dispersión | Bajo, 0,018 |
| Lustre | Vítreo |
| Pleocroísmo | Moderado a fuerte |
| Diámetro | 0,4 mm-30 mm |
| Tolerancia de diámetro | 0,004 mm-0,05 mm |
| longitud | 2 mm-150 mm |
| tolerancia de longitud | 0,03 mm-0,25 mm |
| Calidad de la superficie | 40/20 |
| Redondez de la superficie | RZ0.05 |
| Forma personalizada | ambos extremos planos, un extremo rojo, ambos extremos rojos, Pasadores de sillín y formas especiales |
Características principales
1. Dureza y resistencia al desgaste excepcionales: Con una dureza Mohs de 9, solo superada por el diamante, los pasadores de elevación de zafiro presentan características de desgaste que superan con creces las alternativas tradicionales de carburo de silicio, cerámica de alúmina o aleaciones metálicas. Esta extrema dureza se traduce en una reducción significativa de la generación de partículas y de los requisitos de mantenimiento, con una vida útil típicamente de 3 a 5 veces mayor que la de los materiales convencionales en aplicaciones comparables.
2. Resistencia superior a altas temperaturas: Diseñados para soportar un funcionamiento prolongado a temperaturas superiores a 1000 °C sin degradarse, los pasadores de elevación de zafiro mantienen la estabilidad dimensional y la resistencia mecánica en los procesos térmicos más exigentes. Esto los hace especialmente valiosos para aplicaciones críticas como la deposición química en fase de vapor (CVD), la deposición química en fase de vapor metalorgánico (MOCVD) y los sistemas de recocido a alta temperatura, donde la discrepancia en la expansión térmica puede comprometer el rendimiento del proceso.
3. Inercia química: La estructura monocristalina de zafiro demuestra una notable resistencia al ataque del ácido HF, productos químicos a base de cloro y otros gases de proceso agresivos comunes en la fabricación de semiconductores. Esta estabilidad química garantiza un rendimiento constante en entornos de plasma y previene la formación de defectos superficiales que podrían contaminar las obleas.
4. Baja contaminación por partículas: Fabricados con cristales de zafiro de alta pureza y sin defectos (normalmente >99,99 %), estos pasadores de elevación presentan un desprendimiento mínimo de partículas, incluso tras un uso prolongado. Su estructura superficial no porosa y sus acabados pulidos cumplen con los requisitos más exigentes de salas blancas, lo que contribuye directamente a la mejora del rendimiento del proceso en la fabricación avanzada de semiconductores de nodos.
Mecanizado de alta precisión: Mediante técnicas avanzadas de rectificado de diamante y procesamiento láser, los pasadores de elevación de zafiro se pueden producir con tolerancias submicrónicas y acabados superficiales inferiores a 0,05 μm Ra. Se pueden diseñar geometrías personalizadas, como perfiles cónicos, configuraciones especiales de punta y funciones de alineación integradas, para abordar los desafíos específicos de manipulación de obleas en equipos de fabricación de última generación.
Aplicaciones principales
1. Fabricación de semiconductores: Los pasadores de elevación de zafiro desempeñan un papel fundamental en los sistemas avanzados de procesamiento de obleas, ya que proporcionan un soporte fiable y un posicionamiento preciso durante los procesos de fotolitografía, grabado, deposición e inspección. Su estabilidad térmica y química los hace especialmente valiosos en herramientas de litografía EUV y aplicaciones de empaquetado avanzado, donde la estabilidad dimensional a escala nanométrica es esencial.
2. Epitaxia de LED (MOCVD): En sistemas de crecimiento epitaxial de semiconductores compuestos de nitruro de galio (GaN) y similares, los pines de elevación de zafiro proporcionan un soporte estable a la oblea a temperaturas que a menudo superan los 1000 °C. Sus características de expansión térmica, adaptadas a los sustratos de zafiro, minimizan la curvatura y el deslizamiento de la oblea durante el proceso de crecimiento epitaxial.
3. Industria fotovoltaica: La fabricación de células solares de alta eficiencia se beneficia de las propiedades únicas del zafiro en los procesos de difusión a alta temperatura, sinterización y deposición de película delgada. La resistencia al desgaste de los pines es especialmente valiosa en entornos de producción en masa, donde la longevidad de los componentes influye directamente en los costos de fabricación.
4. Óptica de Precisión y Procesamiento Electrónico: Más allá de las aplicaciones en semiconductores, los pasadores de elevación de zafiro se utilizan en la manipulación de componentes ópticos delicados, dispositivos MEMS y sustratos especiales donde el procesamiento sin contaminación y la prevención de rayaduras son cruciales. Sus propiedades de aislamiento eléctrico los hacen ideales para aplicaciones con dispositivos sensibles a la electrostática.
Servicios de XKH para pasadores de elevación de zafiro
XKH ofrece soporte técnico integral y soluciones personalizadas para pasadores de elevación de zafiro:
1. Servicios de desarrollo personalizados
· Soporte para personalización dimensional, geométrica y de tratamiento de superficies.
· Recomendaciones de selección de materiales y optimización de parámetros técnicos
· Diseño colaborativo de productos y verificación de simulación
2. Capacidades de fabricación de precisión
· Mecanizado de alta precisión con tolerancias controladas dentro de ±1 μm
· Tratamientos especiales que incluyen pulido de espejo y biselado de bordes.
· Soluciones opcionales de modificación de superficies como recubrimientos antiadherentes
3. Sistema de garantía de calidad
· Implementación estricta de la inspección de material entrante y control de procesos.
· Inspección óptica de dimensiones completas y análisis de la morfología de la superficie
· Suministro de informes de pruebas de rendimiento del producto
4. Servicios de la cadena de suministro
· Entrega rápida de productos estándar
· Gestión de inventario dedicada para cuentas clave
5. Soporte técnico
· Consultoría de soluciones de aplicaciones
· Respuesta posventa rápida
Nos comprometemos a proporcionar productos de pasadores de elevación de zafiro de alta calidad y servicios técnicos profesionales para cumplir con los estrictos requisitos de los semiconductores, LED y otras industrias avanzadas.
