Sustrato de zafiro estampado PSS 2 pulgadas 4 pulgadas de 6 pulgadas ICP Se puede usar grabado seco ICP para chips LED
Característica del núcleo
1. Características del material: el material del sustrato es un solo zafiro de cristal (al₂o₃), con alta dureza, alta resistencia al calor y estabilidad química.
2. Estructura de la superficie: la superficie está formada por fotolitografía y grabado en estructuras de micro-nano periódicas, como conos, pirámides o matrices hexagonales.
3. Rendimiento óptico: a través del diseño del patrón de superficie, se reduce el reflejo total de la luz en la interfaz y se mejora la eficiencia de extracción de luz.
4. Rendimiento térmico: el sustrato de zafiro tiene una excelente conductividad térmica, adecuada para aplicaciones LED de alta potencia.
5. Especificaciones de tamaño: los tamaños comunes son 2 pulgadas (50.8 mm), 4 pulgadas (100 mm) y 6 pulgadas (150 mm).
Áreas de aplicación principales
1. Fabricación LED:
Eficiencia de extracción de luz mejorada: el PSS reduce la pérdida de luz a través del diseño del patrón, mejora significativamente el brillo del LED y la eficiencia luminosa.
Calidad de crecimiento epitaxial mejorada: la estructura estampada proporciona una mejor base de crecimiento para las capas epitaxiales GaN y mejora el rendimiento de LED.
2. Diodo láser (LD):
Láseres de alta potencia: la alta conductividad térmica y la estabilidad de los PSS son adecuados para diodos láser de alta potencia, mejorando el rendimiento y la confiabilidad de la disipación de calor.
Corriente de umbral bajo: optimizar el crecimiento epitaxial, reducir la corriente umbral del diodo láser y mejorar la eficiencia.
3. Fotodetector:
Alta sensibilidad: la alta transmisión de luz y la baja densidad de defectos del PSS mejoran la sensibilidad y la velocidad de respuesta del fotodetector.
Respuesta espectral amplia: adecuada para la detección fotoeléctrica en el rango ultravioleta a visible.
4. Power Electronics:
Resistencia de alta tensión: el alto aislamiento y la estabilidad térmica de zafiro son adecuados para dispositivos de alta potencia de voltaje.
Disipación de calor eficiente: la alta conductividad térmica mejora el rendimiento de la disipación de calor de los dispositivos de potencia y prolonga la vida útil.
5. Dispositivos de RF:
Rendimiento de alta frecuencia: la baja pérdida dieléctrica y la alta estabilidad térmica de PSS son adecuadas para dispositivos de RF de alta frecuencia.
Bajo ruido: alta planitud y baja densidad de defectos reducen el ruido del dispositivo y mejoran la calidad de la señal.
6. Biosensores:
Detección de alta sensibilidad: la alta transmisión de luz y la estabilidad química de los PSS son adecuados para biosensores de alta sensibilidad.
Biocompatibilidad: la biocompatibilidad del zafiro lo hace adecuado para aplicaciones médicas y de biodetección.
Sustrato de zafiro estampado (PSS) con material epitaxial GaN:
El sustrato de zafiro estampado (PSS) es un sustrato ideal para el crecimiento epitaxial GaN (nitruro de galio). La constante de red de zafiro está cerca de GaN, lo que puede reducir los desajustes y defectos en el crecimiento epitaxial. La estructura micro-nano de la superficie de PSS no solo mejora la eficiencia de extracción de luz, sino que también mejora la calidad del cristal de la capa epitaxial GaN, mejorando así el rendimiento y la confiabilidad del LED.
Parámetros técnicos
Artículo | Sustrato de zafiro estampado (2 ~ 6 pulgadas) | ||
Diámetro | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
Espesor | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
Orientación de la superficie | Plano C (0001) fuera de ángulo hacia el eje m (10-10) 0.2 ± 0.1 ° | ||
Plano C (0001) fuera de ángulo hacia el eje A (11-20) 0 ± 0.1 ° | |||
Orientación plana primaria | Plano A (11-20) ± 1.0 ° | ||
Longitud plana primaria | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
R-plano | 9-O'Clock | ||
Acabado de la superficie delantera | Estampado | ||
Acabado de la superficie posterior | SSP: tierra fina, ra = 0.8-1.2um; DSP: EPI pulido, ra <0.3nm | ||
Marca de láser | Parte posterior | ||
TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
ARCO | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
URDIMBRE | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
Exclusión de borde | ≤2 mm | ||
Especificación de patrones | Estructura de forma | Cúpula, cono, pirámide | |
Altura del patrón | 1.6 ~ 1.8 μm | ||
Diámetro del patrón | 2.75 ~ 2.85 μm | ||
Espacio de patrones | 0.1 ~ 0.3 μm |
XKH se especializa en proporcionar sustratos de zafiro estampados personalizados de alta calidad y personalizados con soporte técnico y servicio postventa para ayudar a los clientes a lograr una innovación eficiente en el campo de LED, visualización y optoelectrónica.
1. Suministro de PSS de alta calidad: sustratos de zafiro estampados en una variedad de tamaños (2 ", 4", 6 ") para satisfacer las necesidades de dispositivos LED, visualización y optoelectrónicos.
2. Diseño personalizado: personalice la estructura de micro-nano de superficie (como cono, pirámide o matriz hexagonal) de acuerdo con el cliente necesita optimizar la eficiencia de extracción de luz.
3. Soporte técnico: proporcionar diseño de aplicaciones de PSS, optimización de procesos y consulta técnica para ayudar a los clientes a mejorar el rendimiento del producto.
4. Soporte de crecimiento epitaxial: se proporciona PSS coincidente con material epitaxial GaN para garantizar el crecimiento de la capa epitaxial de alta calidad.
5. Prueba y certificación: proporcione un informe de inspección de calidad de PSS para garantizar que los productos cumplan con los estándares de la industria.
Diagrama detallado


