Sustrato de zafiro estampado PSS de 2, 4 y 6 pulgadas. El grabado en seco ICP se puede utilizar para chips LED.
Característica central
1. Características del material: El material del sustrato es un zafiro monocristalino (Al₂O₃), con alta dureza, alta resistencia al calor y estabilidad química.
2. Estructura de la superficie: La superficie se forma mediante fotolitografía y grabado en micro-nano estructuras periódicas, como conos, pirámides o matrices hexagonales.
3. Rendimiento óptico: a través del diseño del patrón de superficie, se reduce la reflexión total de la luz en la interfaz y se mejora la eficiencia de extracción de luz.
4. Rendimiento térmico: el sustrato de zafiro tiene una excelente conductividad térmica, adecuado para aplicaciones de LED de alta potencia.
5. Especificaciones de tamaño: Los tamaños comunes son 2 pulgadas (50,8 mm), 4 pulgadas (100 mm) y 6 pulgadas (150 mm).
Principales áreas de aplicación
1. Fabricación de LED:
Eficiencia de extracción de luz mejorada: PSS reduce la pérdida de luz a través del diseño de patrones, mejorando significativamente el brillo del LED y la eficiencia luminosa.
Calidad de crecimiento epitaxial mejorada: la estructura estampada proporciona una mejor base de crecimiento para las capas epitaxiales de GaN y mejora el rendimiento del LED.
2. Diodo láser (LD):
Láseres de alta potencia: la alta conductividad térmica y la estabilidad del PSS son adecuadas para diodos láser de alta potencia, mejorando el rendimiento de disipación de calor y la confiabilidad.
Corriente de umbral baja: optimiza el crecimiento epitaxial, reduce la corriente de umbral del diodo láser y mejora la eficiencia.
3. Fotodetector:
Alta sensibilidad: La alta transmisión de luz y la baja densidad de defectos del PSS mejoran la sensibilidad y la velocidad de respuesta del fotodetector.
Amplia respuesta espectral: adecuada para la detección fotoeléctrica en el rango ultravioleta al visible.
4. Electrónica de potencia:
Resistencia a alto voltaje: el alto aislamiento y la estabilidad térmica del zafiro son adecuados para dispositivos de potencia de alto voltaje.
Disipación de calor eficiente: la alta conductividad térmica mejora el rendimiento de disipación de calor de los dispositivos de energía y prolonga la vida útil.
5. Dispositivos de radiofrecuencia:
Rendimiento de alta frecuencia: la baja pérdida dieléctrica y la alta estabilidad térmica del PSS son adecuadas para dispositivos de RF de alta frecuencia.
Bajo ruido: la alta planitud y la baja densidad de defectos reducen el ruido del dispositivo y mejoran la calidad de la señal.
6. Biosensores:
Detección de alta sensibilidad: la alta transmisión de luz y la estabilidad química del PSS son adecuadas para biosensores de alta sensibilidad.
Biocompatibilidad: La biocompatibilidad del zafiro lo hace adecuado para aplicaciones médicas y de biodetección.
Sustrato de zafiro estampado (PSS) con material epitaxial de GaN:
El sustrato de zafiro con patrón (PSS) es ideal para el crecimiento epitaxial de GaN (nitruro de galio). La constante de red del zafiro es similar a la del GaN, lo que reduce los desajustes de red y los defectos en el crecimiento epitaxial. La microestructura nanométrica de la superficie del PSS no solo mejora la eficiencia de extracción de luz, sino que también mejora la calidad cristalina de la capa epitaxial de GaN, mejorando así el rendimiento y la fiabilidad del LED.
Parámetros técnicos
| Artículo | Sustrato de zafiro estampado (2 a 6 pulgadas) | ||
| Diámetro | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Espesor | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Orientación de la superficie | Plano C (0001) fuera de ángulo hacia el eje M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| Plano C (0001) fuera de ángulo hacia el eje A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Orientación plana primaria | Plano A (11-20) ± 1,0° | ||
| Longitud plana primaria | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| Plano R | las 9 en punto | ||
| Acabado de la superficie frontal | Estampado | ||
| Acabado de la superficie posterior | SSP: Pulido fino, Ra = 0,8-1,2 µm; DSP: Pulido epi, Ra < 0,3 nm | ||
| Marca láser | Parte trasera | ||
| Televisión por cable | ≤8μm | ≤10 μm | ≤20μm |
| ARCO | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25μm |
| URDIMBRE | ≤12 μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Exclusión de bordes | ≤2 mm | ||
| Especificación del patrón | Estructura de la forma | Cúpula, cono, pirámide | |
| Altura del patrón | 1,6~1,8 μm | ||
| Diámetro del patrón | 2,75~2,85 μm | ||
| Espacio de patrones | 0,1~0,3 μm | ||
XKH se especializa en proporcionar sustratos de zafiro estampados personalizados y de alta calidad (PSS) con soporte técnico y servicio posventa para ayudar a los clientes a lograr una innovación eficiente en el campo de LED, pantallas y optoelectrónica.
1. Suministro de PSS de alta calidad: Sustratos de zafiro estampados en una variedad de tamaños (2", 4", 6") para satisfacer las necesidades de dispositivos LED, de pantalla y optoelectrónicos.
2. Diseño personalizado: personalice la micro-nanoestructura de la superficie (como cono, pirámide o matriz hexagonal) según las necesidades del cliente para optimizar la eficiencia de extracción de luz.
3. Soporte técnico: Brindamos diseño de aplicaciones PSS, optimización de procesos y consultoría técnica para ayudar a los clientes a mejorar el rendimiento del producto.
4. Soporte de crecimiento epitaxial: se proporciona PSS combinado con material epitaxial de GaN para garantizar un crecimiento de la capa epitaxial de alta calidad.
5. Pruebas y certificación: proporcionar un informe de inspección de calidad de PSS para garantizar que los productos cumplan con los estándares de la industria.
Diagrama detallado
