Sustrato tipo p 4H/6H-P 3C-N TIPO SIC 4 pulgadas 〈111〉± 0,5°Cero MPD
Tabla de parámetros comunes de sustratos compuestos de SiC tipo 4H/6H-P
4 pulgadas de diámetro SilicioSustrato de carburo (SiC) Especificación
Calificación | Producción Cero MPD Grado (Z Calificación) | Producción estándar Grado (P Calificación) | Grado ficticio (D Calificación) | ||
Diámetro | 99,5 mm~100,0 mm | ||||
Espesor | 350 micras ± 25 micras | ||||
Orientación de la oblea | Fuera del eje: 2,0°-4,0°hacia [1120] ± 0,5° para 4H/6H-P, OEje n:〈111〉± 0,5° para 3C-N | ||||
Densidad del microtubo | 0cm-2 | ||||
Resistividad | tipo p 4H/6H-P | ≤0,1 Ωꞏcm | ≤0,3 Ωꞏcm | ||
tipo n 3C-N | ≤0,8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Orientación plana primaria | 4H/6H-P | - {1010} ± 5,0° | |||
3C-N | - {110} ± 5,0° | ||||
Longitud plana primaria | 32,5 mm ± 2,0 mm | ||||
Longitud plana secundaria | 18,0 mm ± 2,0 mm | ||||
Orientación plana secundaria | Silicio boca arriba: 90° CW. desde piso Prime±5.0° | ||||
Exclusión de borde | 3 milímetros | 6 milímetros | |||
LTV/TTV/arco/deformación | ≤2,5 µm/≤5 µm/≤15 µm/≤30 μm | ≤10 µm/≤15 µm/≤25 µm/≤40 μm | |||
Aspereza | Polaco Ra≤1 nm | ||||
CMPRa≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Grietas en los bordes por luz de alta intensidad | Ninguno | Longitud acumulada ≤ 10 mm, longitud única ≤2 mm | |||
Placas hexagonales por luz de alta intensidad | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤0,1% | |||
Áreas politipo por luz de alta intensidad | Ninguno | Área acumulada≤3% | |||
Inclusiones visuales de carbono | Área acumulada ≤0,05% | Área acumulada ≤3% | |||
Arañazos en la superficie de silicio causados por luz de alta intensidad | Ninguno | Longitud acumulada≤1×diámetro de oblea | |||
Chips de borde altos por intensidad de luz | Ninguno permitido ≥0,2 mm de ancho y profundidad | 5 permitidos, ≤1 mm cada uno | |||
Contaminación de la superficie de silicio por alta intensidad | Ninguno | ||||
Embalaje | Casete de múltiples obleas o contenedor de una sola oblea |
Notas:
※Los límites de defectos se aplican a toda la superficie de la oblea excepto al área de exclusión de bordes. # Los rayones deben revisarse únicamente en la cara Si.
El sustrato de SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 pulgadas con orientación 〈111〉± 0,5° y grado Zero MPD se utiliza ampliamente en aplicaciones electrónicas de alto rendimiento. Su excelente conductividad térmica y su alto voltaje de ruptura lo hacen ideal para electrónica de potencia, como interruptores de alto voltaje, inversores y convertidores de potencia, que operan en condiciones extremas. Además, la resistencia del sustrato a las altas temperaturas y la corrosión garantiza un rendimiento estable en entornos hostiles. La orientación precisa 〈111〉± 0,5° mejora la precisión de fabricación, lo que la hace adecuada para dispositivos de RF y aplicaciones de alta frecuencia, como sistemas de radar y equipos de comunicación inalámbrica.
Las ventajas de los sustratos compuestos de SiC tipo N incluyen:
1. Alta conductividad térmica: disipación de calor eficiente, lo que lo hace adecuado para entornos de alta temperatura y aplicaciones de alta potencia.
2. Alto voltaje de ruptura: Garantiza un rendimiento confiable en aplicaciones de alto voltaje como convertidores e inversores de potencia.
3. Grado Zero MPD (Micro Pipe Defect): Garantiza defectos mínimos, brindando estabilidad y alta confiabilidad en dispositivos electrónicos críticos.
4. Resistencia a la corrosión: Durable en ambientes hostiles, lo que garantiza una funcionalidad a largo plazo en condiciones exigentes.
5. Orientación precisa 〈111〉± 0,5°: permite una alineación precisa durante la fabricación, mejorando el rendimiento del dispositivo en aplicaciones de alta frecuencia y RF.
En general, el sustrato de SiC tipo P 4H/6H-P 3C-N de 4 pulgadas con orientación 〈111〉± 0,5° y grado Zero MPD es un material de alto rendimiento ideal para aplicaciones electrónicas avanzadas. Su excelente conductividad térmica y su alto voltaje de ruptura lo hacen perfecto para electrónica de potencia como interruptores, inversores y convertidores de alto voltaje. El grado Zero MPD garantiza defectos mínimos, brindando confiabilidad y estabilidad en dispositivos críticos. Además, la resistencia del sustrato a la corrosión y las altas temperaturas garantiza la durabilidad en entornos hostiles. La orientación precisa 〈111〉± 0,5° permite una alineación precisa durante la fabricación, lo que lo hace muy adecuado para dispositivos de RF y aplicaciones de alta frecuencia.