Cristal de tantalato de litio (LiTaO3) de 2, 3, 4 y 6 pulgadas. Orientación: Y-42°/36°/108°. Espesor: 250-500 um.
Parámetros técnicos
Nombre | LiTaO3 de grado óptico | Nivel de tabla sonora LiTaO3 |
Axial | Corte Z +/- 0,2° | Corte en Y de 36° / Corte en Y de 42° / Corte en X(+/- 0,2°) |
Diámetro | 76,2 mm +/- 0,3 mm/100 ± 0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm100 mm +/- 0,3 mm o 150 ± 0,5 mm |
Plano de referencia | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm32 mm +/- 2 mm |
Espesor | 500 um +/-5 mm1000 um +/-5 mm | 500 um +/-20 mm350 um +/-20 mm |
Televisión por cable | ≤ 10 um | ≤ 10 um |
Temperatura de Curie | 605 °C +/- 0,7 °C (método DTA) | 605 °C +/-3 °C (método DTA) |
Calidad de la superficie | Pulido de doble cara | Pulido de doble cara |
bordes biselados | redondeo de bordes | redondeo de bordes |
Características clave
1. Estructura cristalina y rendimiento eléctrico
· Estabilidad cristalográfica: 100 % de predominio de politipo 4H-SiC, cero inclusiones multicristalinas (por ejemplo, 6H/15R), con curva de oscilación de XRD de ancho completo a la mitad del máximo (FWHM) ≤32,7 segundos de arco.
· Alta movilidad de portadores: movilidad de electrones de 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) y movilidad de huecos de 380 cm²/V·s, lo que permite diseños de dispositivos de alta frecuencia.
·Dureza a la radiación: Soporta irradiación de neutrones de 1 MeV con un umbral de daño por desplazamiento de 1×10¹⁵ n/cm², ideal para aplicaciones aeroespaciales y nucleares.
2. Propiedades térmicas y mecánicas
· Conductividad térmica excepcional: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), el triple que el silicio, lo que permite un funcionamiento a temperaturas superiores a 200 °C.
· Bajo coeficiente de expansión térmica: CTE de 4,0×10⁻⁶/K (25–1000 °C), lo que garantiza la compatibilidad con envases a base de silicio y minimiza el estrés térmico.
3. Control de defectos y precisión de procesamiento
· Densidad de microtubos: <0,3 cm⁻² (obleas de 8 pulgadas), densidad de dislocación <1000 cm⁻² (verificada mediante grabado con KOH).
· Calidad de la superficie: Pulido CMP a Ra <0,2 nm, cumpliendo con los requisitos de planitud de grado litográfico EUV.
Aplicaciones clave
Dominio | Escenarios de aplicación | Ventajas técnicas |
Comunicaciones ópticas | Láseres de 100G/400G, módulos híbridos de fotónica de silicio | Los sustratos de semillas de InP permiten una banda prohibida directa (1,34 eV) y heteroepitaxia basada en Si, lo que reduce la pérdida de acoplamiento óptico. |
Vehículos de nueva energía | Inversores de alto voltaje de 800 V, cargadores integrados (OBC) | Los sustratos 4H-SiC soportan >1200 V, lo que reduce las pérdidas de conducción en un 50 % y el volumen del sistema en un 40 %. |
Comunicaciones 5G | Dispositivos de RF de ondas milimétricas (PA/LNA), amplificadores de potencia de estación base | Los sustratos de SiC semiaislantes (resistividad >10⁵ Ω·cm) permiten una integración pasiva de alta frecuencia (60 GHz+). |
Equipos industriales | Sensores de alta temperatura, transformadores de corriente, monitores de reactores nucleares | Los sustratos de semillas InSb (banda prohibida de 0,17 eV) brindan una sensibilidad magnética de hasta un 300 % a 10 T. |
Obleas de LiTaO₃: Características clave
1. Rendimiento piezoeléctrico superior
· Los altos coeficientes piezoeléctricos (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0,5 %) permiten dispositivos SAW/BAW de alta frecuencia con pérdida de inserción <1,5 dB para filtros RF 5G
· El excelente acoplamiento electromecánico admite diseños de filtros de ancho de banda amplio (≥5 %) para aplicaciones de sub-6 GHz y mmWave
2. Propiedades ópticas
· Transparencia de banda ancha (>70 % de transmisión de 400 a 5000 nm) para moduladores electroópticos que alcanzan un ancho de banda de >40 GHz
· La fuerte susceptibilidad óptica no lineal (χ⁽²⁾~30 pm/V) facilita la generación eficiente de segundos armónicos (SHG) en sistemas láser
3. Estabilidad ambiental
· La alta temperatura de Curie (600 °C) mantiene la respuesta piezoeléctrica en entornos de grado automotriz (-40 °C a 150 °C)
· La inercia química frente a ácidos/álcalis (pH 1-13) garantiza la fiabilidad en aplicaciones de sensores industriales.
4. Capacidades de personalización
· Ingeniería de orientación: corte X (51°), corte Y (0°), corte Z (36°) para respuestas piezoeléctricas personalizadas
· Opciones de dopaje: dopado con Mg (resistencia al daño óptico), dopado con Zn (d₃₃ mejorado)
· Acabados superficiales: Pulido epitaxial (Ra<0,5 nm), metalización ITO/Au
Obleas de LiTaO₃: aplicaciones principales
1. Módulos frontales de RF
· Filtros SAW 5G NR (Banda n77/n79) con coeficiente de temperatura de frecuencia (TCF) <|-15ppm/°C|
· Resonadores BAW de banda ultra ancha para WiFi 6E/7 (5,925-7,125 GHz)
2. Fotónica integrada
· Moduladores Mach-Zehnder de alta velocidad (>100 Gbps) para comunicaciones ópticas coherentes
· Detectores infrarrojos QWIP con longitudes de onda de corte ajustables de 3 a 14 μm
3. Electrónica automotriz
· Sensores de aparcamiento ultrasónicos con frecuencia operativa >200 kHz
· Transductores piezoeléctricos TPMS que sobreviven a ciclos térmicos de -40 °C a 125 °C
4. Sistemas de defensa
· Filtros receptores EW con rechazo fuera de banda >60dB
· Ventanas IR del buscador de misiles que transmiten radiación MWIR de 3-5 μm
5. Tecnologías emergentes
· Transductores cuánticos optomecánicos para conversión de microondas a óptica
· Matrices PMUT para imágenes de ultrasonido médico (resolución >20 MHz)
Obleas de LiTaO₃ - Servicios XKH
1. Gestión de la cadena de suministro
· Procesamiento de oblea a bola con un plazo de entrega de 4 semanas para especificaciones estándar
· Producción optimizada en costos que ofrece una ventaja de precio del 10-15% frente a la competencia
2. Soluciones personalizadas
Obleas con orientación específica: corte en Y de 36° ± 0,5° para un rendimiento SAW óptimo
· Composiciones dopadas: dopaje de MgO (5 mol%) para aplicaciones ópticas
Servicios de metalización: modelado de electrodos de Cr/Au (100/1000Å)
3. Soporte técnico
· Caracterización del material: curvas de oscilación XRD (FWHM<0,01°), análisis de superficie AFM
· Simulación de dispositivos: modelado FEM para la optimización del diseño de filtros SAW
Conclusión
Las obleas de LiTaO₃ siguen impulsando avances tecnológicos en comunicaciones de radiofrecuencia, fotónica integrada y sensores para entornos hostiles. La experiencia en materiales, la precisión de fabricación y el soporte de ingeniería de aplicaciones de XKH ayudan a los clientes a superar los desafíos de diseño en sistemas electrónicos de próxima generación.


