Cristal de tantalato de litio (LiTaO3) LT de 2 pulgadas/3 pulgadas/4 pulgadas/6 pulgadas. Orientación: Y-42°/36°/108°. Espesor: 250-500 µm.
Parámetros técnicos
| Nombre | LiTaO3 de grado óptico | Nivel de mesa sonora LiTaO3 |
| Axial | Corte Z +/- 0,2° | Corte Y a 36° / Corte Y a 42° / Corte X(+/- 0,2 °) |
| Diámetro | 76,2 mm +/- 0,3 mm/100 ± 0,2 mm | 76,2 mm ± 0,3 mm100 mm ± 0,3 mm o 150 mm ± 0,5 mm |
| plano de referencia | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm32 mm ± 2 mm |
| Espesor | 500 µm ± 5 mm1000 µm ± 5 mm | 500 µm ± 20 mm350 µm ± 20 mm |
| Televisión por satélite | ≤ 10 µm | ≤ 10 µm |
| Temperatura de Curie | 605 °C +/- 0,7 °C (método DTA) | 605 °C ± 3 °C (método DTA) |
| Calidad de la superficie | Pulido a doble cara | Pulido a doble cara |
| Bordes achaflanados | redondeo de bordes | redondeo de bordes |
Características clave
1. Estructura cristalina y rendimiento eléctrico
· Estabilidad cristalográfica: 100% de predominio del politipo 4H-SiC, cero inclusiones multicristalinas (por ejemplo, 6H/15R), con ancho completo a la mitad del máximo (FWHM) de la curva de balanceo XRD ≤32,7 arcsec.
• Alta movilidad de portadores: movilidad de electrones de 5400 cm²/V·s (4H-SiC) y movilidad de huecos de 380 cm²/V·s, lo que permite diseños de dispositivos de alta frecuencia.
·Resistencia a la radiación: Soporta irradiación de neutrones de 1 MeV con un umbral de daño por desplazamiento de 1×10¹⁵ n/cm², ideal para aplicaciones aeroespaciales y nucleares.
2. Propiedades térmicas y mecánicas
• Conductividad térmica excepcional: 4,9 W/cm·K (4H-SiC), el triple que la del silicio, lo que permite un funcionamiento a temperaturas superiores a 200 °C.
· Coeficiente de expansión térmica bajo: CTE de 4,0×10⁻⁶/K (25–1000°C), lo que garantiza la compatibilidad con los envases basados en silicio y minimiza el estrés térmico.
3. Control de defectos y precisión de procesamiento
· Densidad de micropipes: <0,3 cm⁻² (obleas de 8 pulgadas), densidad de dislocación <1.000 cm⁻² (verificado mediante grabado con KOH).
• Calidad de la superficie: Pulida mediante CMP a Ra <0,2 nm, cumpliendo con los requisitos de planitud de grado de litografía EUV.
Aplicaciones clave
| Dominio | Escenarios de aplicación | Ventajas técnicas |
| Comunicaciones ópticas | Láseres 100G/400G, módulos híbridos de fotónica de silicio | Los sustratos semilla de InP permiten una banda prohibida directa (1,34 eV) y heteroepitaxia basada en Si, reduciendo la pérdida de acoplamiento óptico. |
| Vehículos de nueva energía | Inversores de alto voltaje de 800 V, cargadores a bordo (OBC) | Los sustratos de 4H-SiC soportan >1200 V, reduciendo las pérdidas por conducción en un 50 % y el volumen del sistema en un 40 %. |
| Comunicaciones 5G | Dispositivos de radiofrecuencia de ondas milimétricas (PA/LNA), amplificadores de potencia para estaciones base | Los sustratos de SiC semi-aislantes (resistividad >10⁵ Ω·cm) permiten la integración pasiva de alta frecuencia (60 GHz+). |
| Equipos industriales | Sensores de alta temperatura, transformadores de corriente, monitores de reactores nucleares | Los sustratos semilla de InSb (banda prohibida de 0,17 eV) ofrecen una sensibilidad magnética de hasta el 300 % a 10 T. |
Obleas de LiTaO₃ - Características clave
1. Rendimiento piezoeléctrico superior
Los elevados coeficientes piezoeléctricos (d₃₃ ~ 8-10 pC/N, K² ~ 0,5 %) permiten el desarrollo de dispositivos SAW/BAW de alta frecuencia con una pérdida de inserción < 1,5 dB para filtros de RF 5G.
• El excelente acoplamiento electromecánico permite diseños de filtros de banda ancha (≥5 %) para aplicaciones sub-6 GHz y de ondas milimétricas.
2. Propiedades ópticas
• Transparencia de banda ancha (transmisión >70% entre 400 y 5000 nm) para moduladores electroópticos con un ancho de banda >40 GHz
La elevada susceptibilidad óptica no lineal (χ⁽²⁾~30pm/V) facilita la generación eficiente de segundo armónico (SHG) en sistemas láser.
3. Estabilidad ambiental
• Su elevada temperatura de Curie (600 °C) mantiene la respuesta piezoeléctrica en entornos de grado automotriz (de -40 °C a 150 °C).
Su inercia química frente a ácidos y álcalis (pH 1-13) garantiza la fiabilidad en aplicaciones de sensores industriales.
4. Capacidades de personalización
• Ingeniería de orientación: corte en X (51°), corte en Y (0°), corte en Z (36°) para respuestas piezoeléctricas a medida.
• Opciones de dopaje: dopado con Mg (resistencia al daño óptico), dopado con Zn (d₃₃ mejorado)
• Acabados superficiales: Pulido para epitaxia (Ra<0,5 nm), metalización ITO/Au
Obleas de LiTaO₃ - Aplicaciones principales
1. Módulos frontales de RF
· Filtros SAW NR 5G (Banda n77/n79) con coeficiente de temperatura de frecuencia (TCF) <|-15ppm/°C|
• Resonadores BAW de banda ultraancha para WiFi 6E/7 (5,925-7,125 GHz)
2. Fotónica integrada
Moduladores Mach-Zehnder de alta velocidad (>100 Gbps) para comunicaciones ópticas coherentes
· Detectores infrarrojos QWIP con longitudes de onda de corte ajustables de 3 a 14 μm
3. Electrónica automotriz
· Sensores de estacionamiento ultrasónicos con frecuencia de funcionamiento >200 kHz
· Transductores piezoeléctricos TPMS que soportan ciclos térmicos de -40 °C a 125 °C
4. Sistemas de defensa
Filtros receptores EW con rechazo fuera de banda >60 dB
· Ventanas IR del buscador de misiles que transmiten radiación MWIR de 3-5 μm
5. Tecnologías emergentes
· Transductores cuánticos optomecánicos para la conversión de microondas a luz óptica
• Matrices PMUT para imágenes de ultrasonido médico (resolución >20MHz)
Obleas de LiTaO₃ - Servicios XKH
1. Gestión de la cadena de suministro
• Procesamiento de lingotes a obleas con un plazo de entrega de 4 semanas para especificaciones estándar.
Producción optimizada en costes que ofrece una ventaja de precio del 10-15% frente a la competencia
2. Soluciones personalizadas
• Corte de obleas con orientación específica: corte en Y de 36° ± 0,5° para un rendimiento óptimo de SAW
• Composiciones dopadas: dopaje con MgO (5 mol%) para aplicaciones ópticas
Servicios de metalización: patrones de electrodos de Cr/Au (100/1000 Å)
3. Soporte técnico
Caracterización del material: curvas de balanceo XRD (FWHM < 0,01°), análisis de superficie AFM
• Simulación de dispositivos: modelado FEM para la optimización del diseño de filtros SAW
Conclusión
Las obleas de LiTaO₃ siguen impulsando avances tecnológicos en comunicaciones de radiofrecuencia, fotónica integrada y sensores para entornos exigentes. La experiencia de XKH en materiales, su precisión de fabricación y su soporte de ingeniería de aplicaciones ayudan a los clientes a superar los retos de diseño en los sistemas electrónicos de última generación.









