Oblea de zafiro de 50,8 mm de diámetro con ventana de zafiro y alta transmitancia óptica DSP/SSP

Descripción breve:

Gracias a su red menos dispareja y a sus propiedades químicas y físicas estables, las obleas de zafiro (Al₂O₃) son sustratos populares para nitruros III-V, superconductores y epipelículas magnéticas. Se utilizan ampliamente en GaN y crecimiento epitaxial de película delgada, silicio sobre zafiro, el mercado de LED y la industria óptica.

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¿Por qué Zafiro?

Características del zafiro monocristalino
1. El zafiro tiene una alta transmitancia óptica, por lo que se usa ampliamente como material dieléctrico de tubos microelectrónicos, elementos de conducción ultrasónica, cavidades láser de guía de ondas y otros elementos ópticos, como materiales de ventana para dispositivos militares infrarrojos, vehículos espaciales, láseres de alta intensidad y comunicaciones ópticas.

2. El zafiro tiene alta rigidez, alta resistencia, alta temperatura de trabajo, resistencia a la abrasión, características de resistencia a la corrosión, por lo que el sustrato de zafiro se utiliza a menudo en entornos hostiles, como medidores de agua de calderas (resistencia a altas temperaturas), escáneres de códigos de barras de productos básicos, cojinetes y otra fabricación de precisión (resistencia al desgaste), carbón, gas, sensores de detección de pozos y ventanas de detectores (anticorrosión).

3. El zafiro tiene las características de aislamiento eléctrico, transparencia, buena conductividad térmica y alta rigidez, por lo que puede utilizarse como material de sustrato de circuitos integrados, como LED y circuitos microelectrónicos, circuitos integrados de ultra alta velocidad.

Especificación

Diámetro	50,8 mm +/-0,1 mm o +/-0,02 mm
Espesor	0,43 mm ± 0,1 mm o +/- 0,02 mm
Orientación	Plano C/Plano A/Plano M/Plano R
Calidad de la superficie (raspar y excavar)	60/40, 40/20 o mejor
Precisión de la superficie	λ/10, λ/2, λ
Apertura clara	>85%, >90%
Paralelismo	+/-3', +/-30''
Bisel	0,1~0,3 mm × 45 grados
Revestimiento	AR, BBAR o a petición del cliente (UV, VIS, IR)

No	Propiedades	Objetivo	Tolerancia	Observaciones
1	Diámetro	50,8 mm	± 0,1 mm
2	Espesor	430 μm	±15 μm
3	Orientación de la superficie del plano C	fuera del eje C hasta M0,2°	± 0,1°
4	Longitud plana primaria	16 mm	±11 mm
5	Orientación plana primaria	Plano A (11-20)	±0,1°
6	Rugosidad del lado posterior	0,8~1,2 um
7	Rugosidad del lado frontal	<0,3 nm
8	Borde de oblea	Tipo R
9	Variación del espesor total, TTV	≤ 10 μm (LTV ≤ 5 μm, 5*5)
10	SORI	≤10 μm
11	Arco	-10 μm ≤ ARCO ≤ 0
12	Marca láser	N / A		no tener
	Paquete	25 obleas en un casete
	Capacidad de rastreo	Las obleas deberán ser rastreables con respecto al número de casete.

Preguntas frecuentes

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