Sustrato de semilla de SiC tipo N personalizado, diámetro 153/155 mm, para electrónica de potencia



Introducir
Los sustratos de semilla de carburo de silicio (SiC) son el material fundamental para los semiconductores de tercera generación, y se distinguen por su excepcional conductividad térmica, su superior intensidad de campo eléctrico de ruptura y su alta movilidad electrónica. Estas propiedades los hacen indispensables para la electrónica de potencia, dispositivos de radiofrecuencia (RF), vehículos eléctricos (VE) y aplicaciones de energías renovables. XKH se especializa en la I+D y la producción de sustratos de semilla de SiC de alta calidad, empleando técnicas avanzadas de crecimiento de cristales como el Transporte Físico de Vapor (PVT) y la Deposición Química de Vapor a Alta Temperatura (HTCVD) para garantizar una calidad cristalina líder en la industria.
XKH ofrece sustratos de semilla de SiC de 4, 6 y 8 pulgadas con dopaje personalizable de tipo N/tipo P, alcanzando niveles de resistividad de 0,01-0,1 Ω·cm y densidades de dislocación inferiores a 500 cm⁻², lo que los hace ideales para la fabricación de MOSFET, diodos de barrera Schottky (SBD) e IGBT. Nuestro proceso de producción integrado verticalmente abarca el crecimiento de cristales, el corte de obleas, el pulido y la inspección, con una capacidad de producción mensual superior a 5000 obleas para satisfacer las diversas demandas de instituciones de investigación, fabricantes de semiconductores y empresas de energías renovables.
Además, ofrecemos soluciones personalizadas, que incluyen:
Personalización de la orientación del cristal (4H-SiC, 6H-SiC)
Dopaje especializado (Aluminio, Nitrógeno, Boro, etc.)
Pulido ultrasuave (Ra < 0,5 nm)
XKH admite el procesamiento basado en muestras, consultas técnicas y creación de prototipos en lotes pequeños para ofrecer soluciones de sustrato de SiC optimizadas.
Parámetros técnicos
Oblea de semilla de carburo de silicio | |
Politipo | 4H |
Error de orientación de la superficie | 4°hacia<11-20>±0,5º |
Resistividad | personalización |
Diámetro | 205 ± 0,5 mm |
Espesor | 600 ± 50 μm |
Aspereza | CMP, Ra ≤ 0,2 nm |
Densidad de microtubos | ≤1 ea/cm2 |
Arañazos | ≤5,Longitud total ≤2*Diámetro |
Astillas/sangrías en los bordes | Ninguno |
Marcado láser frontal | Ninguno |
Arañazos | ≤2,Longitud total ≤Diámetro |
Astillas/sangrías en los bordes | Ninguno |
Áreas de politipo | Ninguno |
Marcado láser posterior | 1 mm (desde el borde superior) |
Borde | Chaflán |
Embalaje | Casete multi-obleas |
Sustratos de semillas de SiC: características clave
1. Propiedades físicas excepcionales
· Alta conductividad térmica (~490 W/m·K), superando significativamente al silicio (Si) y al arseniuro de galio (GaAs), lo que lo hace ideal para la refrigeración de dispositivos de alta densidad de potencia.
· Intensidad de campo de ruptura (~3 MV/cm), que permite un funcionamiento estable en condiciones de alto voltaje, fundamental para inversores de vehículos eléctricos y módulos de potencia industriales.
· Banda ancha (3,2 eV), lo que reduce las corrientes de fuga a altas temperaturas y mejora la confiabilidad del dispositivo.
2. Calidad cristalina superior
· La tecnología de crecimiento híbrido PVT + HTCVD minimiza los defectos de las microtuberías, manteniendo las densidades de dislocación por debajo de los 500 cm⁻².
· Arqueamiento/deformación de la oblea < 10 μm y rugosidad superficial Ra < 0,5 nm, lo que garantiza la compatibilidad con procesos de litografía de alta precisión y deposición de película delgada.
3. Diversas opciones de dopaje
·Tipo N (dopado con nitrógeno): baja resistividad (0,01-0,02 Ω·cm), optimizado para dispositivos RF de alta frecuencia.
· Tipo P (dopado con aluminio): ideal para MOSFET y IGBT de potencia, mejorando la movilidad de los portadores.
· SiC semiaislante (dopado con vanadio): resistividad > 10⁵ Ω·cm, adaptado para módulos frontales de RF 5G.
4. Estabilidad ambiental
· Resistencia a altas temperaturas (>1600 °C) y dureza a la radiación, adecuado para equipos aeroespaciales, nucleares y otros entornos extremos.
Sustratos de semillas de SiC: aplicaciones principales
1. Electrónica de potencia
· Vehículos eléctricos (VE): se utilizan en cargadores a bordo (OBC) e inversores para mejorar la eficiencia y reducir las demandas de gestión térmica.
· Sistemas de energía industriales: mejora los inversores fotovoltaicos y las redes inteligentes, logrando una eficiencia de conversión de energía >99%.
2. Dispositivos de RF
· Estaciones base 5G: Los sustratos de SiC semiaislantes permiten amplificadores de potencia de RF de GaN sobre SiC, lo que admite la transmisión de señales de alta potencia y alta frecuencia.
Comunicaciones por satélite: sus características de baja pérdida lo hacen adecuado para dispositivos de ondas milimétricas.
3. Energía renovable y almacenamiento de energía
· Energía solar: los MOSFET de SiC aumentan la eficiencia de conversión de CC a CA al tiempo que reducen los costos del sistema.
· Sistemas de almacenamiento de energía (ESS): optimiza los convertidores bidireccionales y extiende la vida útil de la batería.
4. Defensa y aeroespacial
· Sistemas de radar: Los dispositivos de SiC de alta potencia se utilizan en los radares AESA (Active Electronically Scanned Array).
· Gestión de energía de las naves espaciales: Los sustratos de SiC resistentes a la radiación son fundamentales para las misiones en el espacio profundo.
5. Investigación y tecnologías emergentes
· Computación cuántica: el SiC de alta pureza permite la investigación de qubits de espín.
· Sensores de alta temperatura: utilizados en la exploración petrolera y el monitoreo de reactores nucleares.
Sustratos de semillas de SiC - Servicios XKH
1. Ventajas de la cadena de suministro
· Fabricación integrada verticalmente: control total desde el polvo de SiC de alta pureza hasta las obleas terminadas, lo que garantiza plazos de entrega de 4 a 6 semanas para productos estándar.
· Competitividad de costos: Las economías de escala permiten precios entre un 15 y un 20 % más bajos que los de los competidores, con respaldo para acuerdos a largo plazo (LTA).
2. Servicios de personalización
· Orientación del cristal: 4H-SiC (estándar) o 6H-SiC (aplicaciones especializadas).
· Optimización del dopaje: Propiedades tipo N/tipo P/semiaislantes personalizadas.
· Pulido avanzado: pulido CMP y tratamiento superficial epi-ready (Ra < 0,3 nm).
3. Soporte técnico
· Prueba de muestra gratuita: incluye informes de medición de XRD, AFM y efecto Hall.
· Asistencia de simulación de dispositivos: admite el crecimiento epitaxial y la optimización del diseño del dispositivo.
4. Respuesta rápida
· Prototipado de bajo volumen: pedido mínimo de 10 obleas, entrega en 3 semanas.
· Logística global: Alianzas con DHL y FedEx para entregas puerta a puerta.
5. Garantía de calidad
· Inspección de proceso completo: cubre la topografía de rayos X (XRT) y el análisis de densidad de defectos.
· Certificaciones internacionales: Cumple con las normas IATF 16949 (grado automotriz) y AEC-Q101.
Conclusión
Los sustratos de semilla de SiC de XKH destacan por su calidad cristalina, estabilidad en la cadena de suministro y flexibilidad de personalización, y se utilizan en electrónica de potencia, comunicaciones 5G, energías renovables y tecnologías de defensa. Seguimos impulsando la tecnología de producción en masa de SiC de 8 pulgadas para impulsar la industria de semiconductores de tercera generación.