Oblea de SiC de grado de producción de 8 pulgadas Sustrato de SiC 4H-N
La siguiente tabla muestra las especificaciones de nuestras obleas de SiC de 8 pulgadas:
| Especificaciones del DSP de SiC tipo N de 8 pulgadas | |||||
| Número | Artículo | Unidad | Producción | Investigación | Ficticio |
| 1: parámetros | |||||
| 1.1 | politipo | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientación de la superficie | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2:Parámetros eléctricos | |||||
| 2.1 | dopante | -- | nitrógeno de tipo n | nitrógeno de tipo n | nitrógeno de tipo n |
| 2.2 | resistividad | ohmios ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3:Parámetro mecánico | |||||
| 3.1 | diámetro | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | espesor | micras | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientación de la muesca | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Profundidad de muesca | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | Valor de vida útil | micras | ≤5 (10 mm x 10 mm) | ≤5 (10 mm x 10 mm) | ≤10 (10 mm x 10 mm) |
| 3.6 | TTV | micras | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Arco | micras | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Urdimbre | micras | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | Fuerza Aérea | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Estructura | |||||
| 4.1 | densidad de microtubos | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | contenido de metal | átomos/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | TLP | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5.Calidad frontal | |||||
| 5.1 | frente | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | acabado superficial | -- | CMP de cara de silicio | CMP de cara de silicio | CMP de cara de silicio |
| 5.3 | partícula | ea/oblea | ≤100 (tamaño ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | rascar | ea/oblea | ≤5,Longitud total≤200 mm | NA | NA |
| 5.5 | Borde astillas/hendiduras/grietas/manchas/contaminación | -- | Ninguno | Ninguno | NA |
| 5.6 | Áreas de politipo | -- | Ninguno | Área ≤10% | Área ≤30% |
| 5.7 | marca frontal | -- | Ninguno | Ninguno | Ninguno |
| 6:Calidad de la espalda | |||||
| 6.1 | acabado posterior | -- | MP de cara C | MP de cara C | MP de cara C |
| 6.2 | rascar | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Borde posterior con defectos fichas/sangrías | -- | Ninguno | Ninguno | NA |
| 6.4 | Rugosidad de la espalda | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Marcado posterior | -- | Muesca | Muesca | Muesca |
| 7: borde | |||||
| 7.1 | borde | -- | Chaflán | Chaflán | Chaflán |
| 8:Paquete | |||||
| 8.1 | embalaje | -- | Epi-ready con vacío embalaje | Epi-ready con vacío embalaje | Epi-ready con vacío embalaje |
| 8.2 | embalaje | -- | Multi-oblea embalaje de casete | Multi-oblea embalaje de casete | Multi-oblea embalaje de casete |
Diagrama detallado
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