Oblea de silicio tipo N o tipo P de 6 pulgadas Oblea de silicio CZ
Introducción de la caja de obleas
Especificaciones de la oblea de silicio:
Crecimiento de oblea de silicio de 6 pulgadas: CZ, MCZ, FZ.
6 Grado de oblea de silicio: principal, de prueba, ficticia, etc.
Oblea de silicio de 6 pulgadas Diámetro: 6 pulgadas/150 mm。
Oblea de silicio de 6 pulgadas Espesor: 200 ~ 3000 um。
Oblea de silicio de 6 pulgadas Acabado: Como cortado, lapeado, grabado, SSP, DSP, etc.。
Oblea de silicio de 6 pulgadas Orientación: (100) (111) (110) (531) (553) etc.
Oblea de silicio de 6 pulgadas. Corte: hasta 4 grados.
Oblea de silicio de 6 pulgadas. Tipo/dopante: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, intrínseco.
Oblea de silicio de 6 pulgadas Resistividad: CZ/MCZ: de 0,001 a 1000 ohm-cm. FZ: hasta 20 kohm-cm.
Oblea de silicio de 6 pulgadas Películas delgadas: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni; Fe, Mo, etc., Espesores de recubrimiento de hasta 20.000 A/5 %.
(b)LPCVD/PECVD: Óxido, nitruro, siC, etc., espesores de recubrimiento de hasta 200.000 A/3 %.
(c)Obleas epitaxiales de silicio y servicios epitaxiales (SOS, GaN, GOI, etc.).
Oblea de silicio de 6 pulgadas Procesos: a.DSP, ultrafino, ultraplano, etc.
b. Reducción de tamaño, rectificado inverso, corte en cubitos, etc. c. MEMS.
Desde 2010, Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd se ha comprometido a proporcionar a los clientes soluciones integrales de obleas de silicio de 4 pulgadas, desde obleas de nivel de depuración Dummy Wafer, obleas de nivel de prueba Test Wafer, hasta obleas de nivel de producto Prime Wafer, así como obleas especiales, obleas de óxido Óxido, obleas de nitruro Si3N4, obleas revestidas de aluminio, obleas de silicio revestidas de cobre, obleas SOI, vidrio MEMS, obleas ultragruesas y ultraplanas personalizadas, etc., con tamaños que van desde 50 mm a 300 mm, y podemos proporcionar obleas semiconductoras con pulido de una sola cara / doble cara, adelgazamiento, corte en cubitos, MEMS y otros servicios de procesamiento y personalización.
Diagrama detallado


