Oblea de silicio CZ Si tipo N o tipo P de 6 pulgadas
Introducir caja de oblea
Las especificaciones de la oblea de silicio:
Crecimiento de oblea de silicio de 6 pulgadas: CZ, MCZ, FZ。
6 Grado de oblea de silicio: Prime, Test, Dummy, etc.
Diámetro de la oblea de silicona de 6 pulgadas: 6 pulgadas / 150 mm。
Grosor de la oblea de silicio de 6 pulgadas: 200 ~ 3000 um.
Acabado de oblea de silicio de 6 pulgadas: cortado, lapeado, grabado, SSP, DSP, etc.
Orientación de la oblea de silicio de 6 pulgadas: (100) (111) (110) (531)(553), etc.
Oblea de silicona de 6 pulgadas Corte: hasta 4 grados。
Tipo de oblea de silicio de 6 pulgadas/Dopante: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Intrínseco.
Oblea de silicio de 6 pulgadas Resistividad: CZ/MCZ: De 0,001 a 1000 ohm-cm. FZ: hasta 20k ohm-cm.
Oblea de silicio de 6 pulgadas Películas delgadas: (a) PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni; Fe, Mo., etc. Espesores de recubrimiento de hasta 20.000 A/5%.
(b)LPCVD/PECVD: Óxido, Nitruro, siC, etc. Espesores de recubrimiento de hasta 200.000A/3%.
(c) Obleas epitaxiales de silicio y servicios epitaxiales (SOS, GaN, GOI, etc.).
Procesos de oblea de silicio de 6 pulgadas: a.DSP, ultradelgado, ultraplano, etc.
b.Reducción de tamaño, trituración posterior, corte en cubitos, etc. MEMS.
Desde 2010, Shanghai XKH Material Tech. Co., Ltd se ha comprometido a proporcionar a los clientes soluciones integrales de obleas de silicio de 4 pulgadas, desde obleas de nivel de depuración Dummy Wafer, obleas de nivel de prueba Test Wafer, hasta obleas de nivel de producto Prime Wafer, así como obleas especiales, obleas de óxido. Obleas de nitruro Si3N4, Obleas chapadas en aluminio, Obleas de silicio chapadas en cobre, Oblea SOI, Vidrio MEMS, personalizado ultragrueso y ultraplano obleas, etc., con tamaños que van desde 50 mm a 300 mm, y podemos proporcionar obleas semiconductoras con pulido, adelgazamiento, corte en cubitos, MEMS y otros servicios de procesamiento y personalización de una o dos caras.