Plantilla de AlN de 50,8 mm/100 mm sobre NPSS/FSS Plantilla de AlN sobre zafiro

Descripción breve:

El AlN sobre zafiro se refiere a una combinación de materiales en la que se desarrollan películas de nitruro de aluminio sobre sustratos de zafiro. En esta estructura, se puede desarrollar una película de nitruro de aluminio de alta calidad mediante deposición química en fase de vapor (CVD) o deposición química en fase de vapor organométrica (MOCVD), lo que permite una buena combinación entre la película de nitruro de aluminio y el sustrato de zafiro. Las ventajas de esta estructura son la alta conductividad térmica del nitruro de aluminio, su alta estabilidad química y sus excelentes propiedades ópticas, mientras que el sustrato de zafiro posee excelentes propiedades mecánicas y térmicas, además de transparencia.


Detalle del producto

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AlN sobre zafiro

El AlN sobre zafiro se puede utilizar para fabricar una variedad de dispositivos fotoeléctricos, como:
1. Chips LED: Los chips LED suelen estar hechos de películas de nitruro de aluminio y otros materiales. La eficiencia y la estabilidad de los LED se pueden mejorar utilizando obleas de AlN sobre zafiro como sustrato.
2. Láseres: Las obleas de AlN sobre zafiro también se pueden utilizar como sustratos para láseres, que se emplean comúnmente en aplicaciones médicas, de comunicaciones y de procesamiento de materiales.
3. Células solares: La fabricación de células solares requiere el uso de materiales como el nitruro de aluminio. El sustrato de AlN sobre zafiro puede mejorar la eficiencia y la vida útil de las células solares.
4. Otros dispositivos optoelectrónicos: Las obleas de AlN sobre zafiro también se pueden utilizar para fabricar fotodetectores, dispositivos optoelectrónicos y otros dispositivos optoelectrónicos.

En conclusión, las obleas de AlN sobre zafiro se utilizan ampliamente en el campo optoeléctrico debido a su alta conductividad térmica, alta estabilidad química, baja pérdida y excelentes propiedades ópticas.

Plantilla de AlN de 50,8 mm/100 mm en NPSS/FSS

Artículo Observaciones
Descripción Plantilla de AlN en NPSS Plantilla de AlN en FSS
Diámetro de la oblea 50,8 mm, 100 mm
Sustrato NPSS del plano c plano c Zafiro planar (FSS)
Espesor del sustrato 50,8 mm, 100 mm c-plano Zafiro planar (FSS)100 mm: 650 um
Espesor de la epicapa de AIN 3~4 um (objetivo: 3,3 um)
Conductividad Aislante

Superficie

A medida que crecía
RMS<1 nm RMS<2 nm
Trasero Molido
FWHM(002)XRC < 150 segundos de arco < 150 segundos de arco
FWHM(102)XRC < 300 segundos de arco < 300 segundos de arco
Exclusión de bordes < 2 mm <3 mm
Orientación plana primaria plano a+0,1°
Longitud plana primaria 50,8 mm: 16 +/-1 mm 100 mm: 30 +/-1 mm
Paquete Empaquetado en caja de envío o contenedor de oblea individual

Diagrama detallado

Plantilla FSS AlN en sapphire3
Plantilla FSS AlN en sapphire4

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