Oblea SiC Epi de 4 pulgadas para MOS o SBD

Breve descripción:

SiCC tiene una línea completa de producción de sustratos de obleas de SiC (carburo de silicio), que integra el crecimiento de cristales, el procesamiento y la fabricación de obleas, el pulido, la limpieza y las pruebas. En la actualidad, podemos proporcionar obleas de SiC 4H y 6H semi-aislantes y semiconductoras axiales o fuera de eje con tamaños de 5x5 mm2, 10x10 mm2, 2", 3", 4" y 6", rompiendo la supresión de defectos y procesando semillas de cristal. y crecimiento rápido y otras. Ha superado tecnologías clave como la supresión de defectos, el procesamiento de semillas de cristales y el crecimiento rápido, y ha promovido la investigación básica y el desarrollo de epitaxia de carburo de silicio, dispositivos y otras investigaciones básicas relacionadas.

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La epitaxia se refiere al crecimiento de una capa de material monocristalino de mayor calidad sobre la superficie de un sustrato de carburo de silicio. Entre ellos, el crecimiento de la capa epitaxial de nitruro de galio sobre un sustrato de carburo de silicio semiaislante se denomina epitaxia heterogénea; el crecimiento de una capa epitaxial de carburo de silicio sobre la superficie de un sustrato conductor de carburo de silicio se denomina epitaxia homogénea.

Epitaxial es de acuerdo con los requisitos de diseño del dispositivo del crecimiento de la capa funcional principal, determina en gran medida el rendimiento del chip y el dispositivo, el costo del 23%. Los principales métodos de epitaxia de película delgada de SiC en esta etapa incluyen: deposición química de vapor (CVD), epitaxia de haz molecular (MBE), epitaxia en fase líquida (LPE) y deposición y sublimación por láser pulsado (PLD).

La epitaxia es un eslabón muy crítico en toda la industria. Al hacer crecer capas epitaxiales de GaN sobre sustratos de carburo de silicio semiaislantes, se producen obleas epitaxiales de GaN basadas en carburo de silicio, que pueden convertirse en dispositivos de RF de GaN, como transistores de alta movilidad de electrones (HEMT);

Al hacer crecer la capa epitaxial de carburo de silicio sobre un sustrato conductor para obtener una oblea epitaxial de carburo de silicio, y en la capa epitaxial en la fabricación de diodos Schottky, transistores de efecto de medio campo de oro y oxígeno, transistores bipolares de puerta aislada y otros dispositivos de potencia, la calidad de El epitaxial en el rendimiento del dispositivo tiene un impacto muy grande en el desarrollo de la industria y también juega un papel muy crítico.