Substrato de zafiro estampado (PSS) de 2 pulgadas 4 pulgadas de 6 pulgadas en el que se cultiva el material GaN puede usar para la iluminación LED

Descripción breve:

El sustrato de zafiro estampado (PSS) es una máscara para el grabado en seco en el sustrato de zafiro, la máscara está grabada con un patrón por proceso de litografía estándar, y luego el zafiro está grabado por la tecnología de grabado ICP, y la máscara se elimina y finalmente se produce el material GAN en él, por lo que el material de grabado de Gan se vuelve a ser un epitaxia longitudinal de Gan. Este proceso implica varios pasos, como el recubrimiento fotorresistente, la exposición a los pasos, el desarrollo del patrón de exposición, el grabado y la limpieza de ICP en seco.

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Detalle del producto

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Características principales

1. Características estructurales:
La superficie PSS tiene un cono ordenado o un patrón cónico triangular cuya forma, tamaño y distribución se pueden controlar ajustando los parámetros del proceso de grabado.
Estas estructuras gráficas ayudan a cambiar la ruta de propagación de la luz y reducir el reflejo total de la luz, mejorando así la eficiencia de la extracción de la luz.

2. Características del material:
PSS utiliza zafiro de alta calidad como material de sustrato, que tiene las características de alta dureza, alta conductividad térmica, buena estabilidad química y transparencia óptica.
Estas características permiten a los PSS resistir entornos hostiles, como altas temperaturas y presiones, al tiempo que mantienen un excelente rendimiento óptico.

3. Rendimiento óptico:
Al cambiar la dispersión múltiple en la interfaz entre el sustrato GaN y Sapphire, PSS hace que los fotones que se reflejan completamente dentro de la capa GaN tienen la oportunidad de escapar del sustrato de zafiro.
Esta característica mejora significativamente la eficiencia de extracción de luz del LED y mejora la intensidad luminosa del LED.

4. Características del proceso:
El proceso de fabricación de PSS es relativamente complejo, que involucra múltiples pasos como litografía y grabado, y requiere equipos de alta precisión y control de procesos.
Sin embargo, con el avance continuo de la tecnología y la reducción de los costos, el proceso de fabricación de PSS se optimiza y mejora gradualmente.

Ventaja central

1. Improve la eficiencia de extracción de luz: PSS mejora significativamente la eficiencia de extracción de luz de LED cambiando la ruta de propagación de la luz y reduciendo la reflexión total.

2. VIDA LED PROLONG: PSS puede reducir la densidad de dislocación de los materiales epitaxiales GaN, reduciendo así la recombinación no radiativa y la corriente de fuga inversa en la región activa, extendiendo la vida útil del LED.

3. Improve el brillo del LED: debido a la mejora de la eficiencia de extracción de luz y la extensión de la vida útil LED, la intensidad luminosa LED en el PSS se mejora significativamente.

4. Reduce los costos de producción: aunque el proceso de fabricación de PSS es relativamente complejo, puede mejorar significativamente la eficiencia luminosa y la vida de LED, reduciendo así los costos de producción hasta cierto punto y mejorando la competitividad del producto.

Áreas de aplicación principales

1. Iluminación LED: PSS como material de sustrato para chips LED puede mejorar significativamente la eficiencia luminosa y la vida útil del LED.
En el campo de la iluminación LED, PSS se usa ampliamente en varios productos de iluminación, como lámparas de calle, lámparas de mesa, luces de automóviles, etc.

2. Dispositivos de semiconductores: además de la iluminación LED, el PSS también se puede utilizar para fabricar otros dispositivos semiconductores, como detectores de luz, láseres, etc. Estos dispositivos tienen una amplia gama de aplicaciones en comunicación, médicos, militares y otros campos.

3. Integración optoelectrónica: las propiedades ópticas y la estabilidad de PSS lo convierten en uno de los materiales ideales en el campo de la integración optoelectrónica. En la integración optoelectrónica, los PSS se pueden utilizar para hacer guías de onda ópticas, conmutadores ópticos y otros componentes para realizar la transmisión y el procesamiento de los señales ópticas.

Parámetros técnicos

Artículo	Sustrato de zafiro estampado (2 ~ 6 pulgadas)
Diámetro	50.8 ± 0.1 mm	100.0 ± 0.2 mm	150.0 ± 0.3 mm
Espesor	430 ± 25 μm	650 ± 25 μm	1000 ± 25 μm
Orientación de la superficie	Plano C (0001) fuera de ángulo hacia el eje m (10-10) 0.2 ± 0.1 °
	Plano C (0001) fuera de ángulo hacia el eje A (11-20) 0 ± 0.1 °
Orientación plana primaria	Plano A (11-20) ± 1.0 °
Longitud plana primaria	16.0 ± 1.0 mm	30.0 ± 1.0 mm	47.5 ± 2.0 mm
R-plano	9-O'Clock
Acabado de la superficie delantera	Estampado
Acabado de la superficie posterior	SSP: tierra fina, ra = 0.8-1.2um; DSP: EPI pulido, ra <0.3nm
Marca de láser	Parte posterior
TTV	≤8 μm	≤10 μm	≤20 μm
ARCO	≤10 μm	≤15 μm	≤25 μm
URDIMBRE	≤12 μm	≤20 μm	≤30 μm
Exclusión de borde	≤2 mm
Especificación de patrones	Estructura de forma	Cúpula, cono, pirámide
	Altura del patrón	1.6 ~ 1.8 μm
	Diámetro del patrón	2.75 ~ 2.85 μm
	Espacio de patrones	0.1 ~ 0.3 μm

XKH se centra en el desarrollo, producción y ventas de sustrato de zafiro estampado (PSS), y se compromete a proporcionar productos de PSS de alta calidad y alto rendimiento a clientes de todo el mundo. XKH tiene tecnología de fabricación avanzada y un equipo técnico profesional, que puede personalizar los productos de PSS con diferentes especificaciones y diferentes estructuras de patrones de acuerdo con las necesidades del cliente. Al mismo tiempo, XKH presta atención a la calidad del producto y la calidad del servicio, y se compromete a proporcionar a los clientes una gama completa de soporte técnico y soluciones. En el campo de PSS, XKH ha acumulado una rica experiencia y ventajas, y espera trabajar junto con socios globales para promover conjuntamente el desarrollo innovador de la iluminación LED, los dispositivos semiconductores y otras industrias.