Sustrato de zafiro estampado (PSS) de 2, 4 y 6 pulgadas sobre el que se cultiva material GaN que se puede utilizar para iluminación LED

Descripción breve:

El sustrato de zafiro con patrón (PSS) es una máscara para el grabado en seco sobre el sustrato de zafiro. Esta máscara se graba con un patrón mediante un proceso de litografía estándar, y posteriormente el zafiro se graba mediante tecnología de grabado ICP. Se retira la máscara y, finalmente, se deposita material de GaN sobre ella, de modo que la epitaxia longitudinal del material de GaN se convierte en epitaxia horizontal. Este proceso consta de varios pasos, como el recubrimiento fotorresistente, la exposición gradual, el revelado del patrón de exposición, el grabado en seco ICP y la limpieza.


Detalle del producto

Etiquetas de productos

Características principales

1. Características estructurales:
La superficie PSS tiene un patrón cónico triangular o de cono ordenado cuya forma, tamaño y distribución se pueden controlar ajustando los parámetros del proceso de grabado.
Estas estructuras gráficas ayudan a cambiar la trayectoria de propagación de la luz y reducen la reflexión total de la luz, mejorando así la eficiencia de la extracción de luz.

2. Características del material:
PSS utiliza zafiro de alta calidad como material de sustrato, que tiene las características de alta dureza, alta conductividad térmica, buena estabilidad química y transparencia óptica.
Estas características permiten que el PSS resista entornos hostiles, como altas temperaturas y presiones, manteniendo al mismo tiempo un excelente rendimiento óptico.

3. Rendimiento óptico:
Al cambiar la dispersión múltiple en la interfaz entre GaN y el sustrato de zafiro, PSS hace que los fotones que se reflejan completamente dentro de la capa de GaN tengan la posibilidad de escapar del sustrato de zafiro.
Esta característica mejora significativamente la eficiencia de extracción de luz del LED y mejora la intensidad luminosa del LED.

4. Características del proceso:
El proceso de fabricación de PSS es relativamente complejo e implica múltiples pasos, como litografía y grabado, y requiere equipos de alta precisión y control de procesos.
Sin embargo, con el avance continuo de la tecnología y la reducción de costos, el proceso de fabricación de PSS se optimiza y mejora gradualmente.

Ventaja principal

1. Mejora la eficiencia de extracción de luz: PSS mejora significativamente la eficiencia de extracción de luz del LED al cambiar la ruta de propagación de la luz y reducir la reflexión total.

2. Prolonga la vida útil del LED: PSS puede reducir la densidad de dislocación de los materiales epitaxiales de GaN, reduciendo así la recombinación no radiactiva y la corriente de fuga inversa en la región activa, extendiendo la vida útil del LED.

3. Mejora el brillo del LED: debido a la mejora de la eficiencia de extracción de luz y la extensión de la vida útil del LED, la intensidad luminosa del LED en el PSS mejora significativamente.

4. Reducir los costos de producción: aunque el proceso de fabricación de PSS es relativamente complejo, puede mejorar significativamente la eficiencia luminosa y la vida útil del LED, reduciendo así los costos de producción hasta cierto punto y mejorando la competitividad del producto.

Principales áreas de aplicación

1. Iluminación LED: PSS como material de sustrato para chips LED, puede mejorar significativamente la eficiencia luminosa y la vida útil del LED.
En el campo de la iluminación LED, el PSS se utiliza ampliamente en diversos productos de iluminación, como farolas, lámparas de mesa, luces de automóviles, etc.

2. Dispositivos semiconductores: además de la iluminación LED, el PSS también se puede utilizar para fabricar otros dispositivos semiconductores, como detectores de luz, láseres, etc. Estos dispositivos tienen una amplia gama de aplicaciones en los campos de las comunicaciones, la medicina, el ejército y otros.

3. Integración optoelectrónica: Las propiedades ópticas y la estabilidad del PSS lo convierten en uno de los materiales ideales en el campo de la integración optoelectrónica. En la integración optoelectrónica, el PSS se puede utilizar para fabricar guías de ondas ópticas, interruptores ópticos y otros componentes para realizar la transmisión y el procesamiento de señales ópticas.

Parámetros técnicos

Artículo Sustrato de zafiro estampado (2 a 6 pulgadas)
Diámetro 50,8 ± 0,1 mm 100,0 ± 0,2 mm 150,0 ± 0,3 mm
Espesor 430 ± 25 μm 650 ± 25 μm 1000 ± 25 μm
Orientación de la superficie Plano C (0001) fuera de ángulo hacia el eje M (10-10) 0,2 ± 0,1°
Plano C (0001) fuera de ángulo hacia el eje A (11-20) 0 ± 0,1°
Orientación plana primaria Plano A (11-20) ± 1,0°
Longitud plana primaria 16,0 ± 1,0 mm 30,0 ± 1,0 mm 47,5 ± 2,0 mm
Plano R las 9 en punto
Acabado de la superficie frontal Estampado
Acabado de la superficie posterior SSP: Pulido fino, Ra = 0,8-1,2 µm; DSP: Pulido epi, Ra < 0,3 nm
Marca láser Parte trasera
Televisión por cable ≤8μm ≤10 μm ≤20μm
ARCO ≤10 μm ≤15 μm ≤25μm
URDIMBRE ≤12 μm ≤20μm ≤30μm
Exclusión de bordes ≤2 mm
Especificación del patrón Estructura de la forma Cúpula, cono, pirámide
Altura del patrón 1,6~1,8 μm
Diámetro del patrón 2,75~2,85 μm
Espacio de patrones 0,1~0,3 μm

XKH se centra en el desarrollo, la producción y la venta de sustratos de zafiro con patrones (PSS) y se compromete a proporcionar productos PSS de alta calidad y alto rendimiento a clientes de todo el mundo. XKH cuenta con tecnología de fabricación avanzada y un equipo técnico profesional que puede personalizar los productos PSS con diferentes especificaciones y estructuras de patrones según las necesidades del cliente. Al mismo tiempo, XKH prioriza la calidad de sus productos y servicios, y se compromete a ofrecer a sus clientes una gama completa de soporte técnico y soluciones. En el campo de los PSS, XKH ha acumulado una amplia experiencia y ventajas, y espera colaborar con socios globales para impulsar conjuntamente el desarrollo innovador en iluminación LED, dispositivos semiconductores y otras industrias.

Diagrama detallado

Sustrato de zafiro estampado (PSS) 6
Sustrato de zafiro estampado (PSS) 5
Sustrato de zafiro estampado (PSS) 4

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