Pasadores de elevación de zafiro premium. Pasador de elevación de oblea de cristal único de Al₂O₃.

1. Dureza y resistencia al desgaste excepcionales: Con una dureza de 9 en la escala de Mohs, solo superada por el diamante, los pasadores de elevación de zafiro presentan características de desgaste que superan con creces las de las alternativas tradicionales de carburo de silicio, cerámica de alúmina o aleaciones metálicas. Esta dureza extrema se traduce en una generación de partículas y necesidades de mantenimiento significativamente menores, con una vida útil de 3 a 5 veces superior a la de los materiales convencionales en aplicaciones similares.

2. Resistencia superior a altas temperaturas: Diseñados para soportar un funcionamiento continuo a temperaturas superiores a 1000 °C sin degradación, los pasadores de zafiro mantienen la estabilidad dimensional y la resistencia mecánica en los procesos térmicos más exigentes. Esto los hace especialmente valiosos para aplicaciones críticas como la deposición química de vapor (CVD), la deposición química de vapor metalorgánica (MOCVD) y los sistemas de recocido a alta temperatura, donde la diferencia en la expansión térmica puede comprometer el rendimiento del proceso.

3. Inercia química: La estructura monocristalina del zafiro demuestra una notable resistencia al ataque del ácido fluorhídrico, los compuestos clorados y otros gases agresivos comunes en la fabricación de semiconductores. Esta estabilidad química garantiza un rendimiento constante en entornos de plasma y evita la formación de defectos superficiales que podrían contaminar la oblea.

4. Baja contaminación por partículas: Fabricados con cristales de zafiro de alta pureza y sin defectos (normalmente >99,99%), estos pasadores de elevación presentan una mínima liberación de partículas incluso tras un uso prolongado. Su estructura superficial no porosa y sus acabados pulidos cumplen con los requisitos más exigentes de las salas blancas, lo que contribuye directamente a mejorar el rendimiento de los procesos en la fabricación de semiconductores de última generación.

Mecanizado de alta precisión: Mediante técnicas avanzadas de rectificado con diamante y procesamiento láser, los pasadores de elevación de zafiro se pueden producir con tolerancias submicrónicas y acabados superficiales inferiores a 0,05 μm Ra. Se pueden diseñar geometrías personalizadas, incluidos perfiles cónicos, configuraciones de punta especiales y características de alineación integradas, para abordar desafíos específicos de manipulación de obleas en equipos de fabricación de última generación.