Plantilla de AlN de 50,8 mm/100 mm sobre NPSS/FSS Plantilla de AlN sobre zafiro

Descripción breve:

La estructura AlN-sobre-zafiro se refiere a una combinación de materiales en la que se depositan películas de nitruro de aluminio sobre sustratos de zafiro. En esta estructura, se puede obtener una película de nitruro de aluminio de alta calidad mediante deposición química de vapor (CVD) o deposición química de vapor organométrica (MOCVD), lo que proporciona una excelente integración entre la película de nitruro de aluminio y el sustrato de zafiro. Las ventajas de esta estructura radican en que el nitruro de aluminio presenta una alta conductividad térmica, una elevada estabilidad química y excelentes propiedades ópticas, mientras que el sustrato de zafiro posee excelentes propiedades mecánicas y térmicas, además de transparencia.

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Características

AlN sobre zafiro

El AlN sobre zafiro se puede utilizar para fabricar una variedad de dispositivos fotoeléctricos, tales como:
1. Chips LED: Los chips LED suelen estar fabricados con películas de nitruro de aluminio y otros materiales. La eficiencia y la estabilidad de los LED pueden mejorarse utilizando obleas de AlN sobre zafiro como sustrato.
2. Láseres: Las obleas de AlN sobre zafiro también se pueden utilizar como sustratos para láseres, que se utilizan comúnmente en medicina, comunicaciones y procesamiento de materiales.
3. Células solares: La fabricación de células solares requiere el uso de materiales como el nitruro de aluminio. El nitruro de aluminio sobre zafiro como sustrato puede mejorar la eficiencia y la vida útil de las células solares.
4. Otros dispositivos optoelectrónicos: Las obleas de AlN sobre zafiro también se pueden utilizar para fabricar fotodetectores, dispositivos optoelectrónicos y otros dispositivos optoelectrónicos.

En conclusión, las obleas de AlN sobre zafiro se utilizan ampliamente en el campo optoelectrónico debido a su alta conductividad térmica, alta estabilidad química, bajas pérdidas y excelentes propiedades ópticas.

Plantilla de AlN de 50,8 mm/100 mm sobre NPSS/FSS

Artículo	Observaciones
Descripción	Plantilla AlN-on-NPSS	Plantilla AlN-on-FSS
Diámetro de la oblea	50,8 mm, 100 mm
Sustrato	NPSS del plano c	Zafiro planar de plano c (FSS)
Espesor del sustrato	50,8 mm, 100 mm, cristal de zafiro planar (FSS) de 100 mm: 650 µm
Espesor de la capa epitaxial de AlN	3~4 µm (objetivo: 3,3 µm)
Conductividad	Aislante
Superficie	A medida que crecía
	RMS<1nm	RMS<2nm
Trasero	Molido
FWHM(002)XRC	< 150 segundos de arco	< 150 segundos de arco
FWHM(102)XRC	< 300 segundos de arco	< 300 segundos de arco
Exclusión de bordes	< 2 mm	< 3 mm
Orientación plana primaria	plano a+0,1°
Longitud plana primaria	50,8 mm: 16 ± 1 mm 100 mm: 30 ± 1 mm
Paquete	Empaquetado en caja de envío o en envase individual de obleas.