Sustrato de oblea de zafiro de 12 pulgadas de diámetro y 300 x 1,0 mm para SSP/DSP de plano C
Situación del mercado de sustratos de zafiro de 12 pulgadas
En la actualidad, el zafiro tiene dos usos principales: uno es como material de sustrato, principalmente para LED, y el otro es para esferas de relojes, aviación, industria aeroespacial y como material para ventanas de fabricación especial.
Aunque, además del zafiro, existen otros materiales como el carburo de silicio, el silicio y el nitruro de galio que se utilizan como sustratos para LED, su producción en masa aún no es viable debido a su elevado coste y a ciertas limitaciones técnicas. Gracias al desarrollo tecnológico de los últimos años, el sustrato de zafiro ha experimentado una notable mejora en su compatibilidad cristalina, conductividad eléctrica, propiedades mecánicas y conductividad térmica, entre otras propiedades. Su rentabilidad es significativa, lo que lo ha convertido en el material de sustrato más maduro y estable de la industria LED, con una cuota de mercado que alcanza el 90%.
Características del sustrato de oblea de zafiro de 12 pulgadas
1. Las superficies del sustrato de zafiro presentan un recuento de partículas extremadamente bajo, con menos de 50 partículas de 0,3 micras o más grandes por cada 2 pulgadas en el rango de tamaño de 2 a 8 pulgadas, y metales principales (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) por debajo de 2E10/cm2. Se espera que el material base de 12 pulgadas también alcance este grado.
2. Se puede utilizar como oblea portadora para el proceso de fabricación de semiconductores de 12 pulgadas (palets de transporte en el dispositivo) y como sustrato para unión.
3. Puede controlar la forma de superficies cóncavas y convexas.
Material: Al2O3 monocristalino de alta pureza, oblea de zafiro.
Calidad LED, sin burbujas, grietas, duplicados, defectos de fabricación, sin coloración, etc.
Láminas de zafiro de 12 pulgadas
| Orientación | Plano C<0001> +/- 1 grado. |
| Diámetro | 300,0 +/-0,25 mm |
| Espesor | 1,0 +/-25 µm |
| Muesca | Muesca o plano |
| Televisión por satélite | <50 um |
| ARCO | <50 um |
| Bordes | chaflán protector |
| Cara frontal – pulida 80/50 | |
| marca láser | Ninguno |
| Embalaje | Caja portadora de obleas individuales |
| Cara frontal lista para epitaxia pulida (Ra <0,3nm) | |
| Cara posterior lista para epitaxia pulida (Ra <0,3nm) | |
Diagrama detallado



