Con el continuo desarrollo de la tecnología de semiconductores, en la industria de los semiconductores e incluso en la industria fotovoltaica, los requisitos para la calidad de la superficie del sustrato de oblea o de la lámina epitaxial también son muy estrictos.Entonces, ¿cuáles son los requisitos de calidad para las obleas?Tomando como ejemplo las obleas de zafiro, ¿qué indicadores se pueden utilizar para evaluar la calidad de la superficie de las obleas?
¿Cuáles son los indicadores de evaluación de las obleas?
Los tres indicadores
Para las obleas de zafiro, sus indicadores de evaluación son desviación de espesor total (TTV), curvatura (Bow) y Warp (Warp).Estos tres parámetros juntos reflejan la uniformidad de planitud y espesor de la oblea de silicio y pueden medir el grado de ondulación de la oblea.La ondulación se puede combinar con la planitud para evaluar la calidad de la superficie de la oblea.
¿Qué es TTV, BOW, Warp?
TTV (Variación de espesor total)
TTV es la diferencia entre el espesor máximo y mínimo de una oblea.Este parámetro es un índice importante utilizado para medir la uniformidad del espesor de la oblea.En un proceso de semiconductores, el espesor de la oblea debe ser muy uniforme en toda la superficie.Las mediciones generalmente se realizan en cinco lugares de la oblea y se calcula la diferencia.En última instancia, este valor es una base importante para juzgar la calidad de la oblea.
Arco
El arco en la fabricación de semiconductores se refiere a la curvatura de una oblea, liberando la distancia entre el punto medio de una oblea sin sujetar y el plano de referencia.La palabra probablemente proviene de una descripción de la forma de un objeto cuando se dobla, como la forma curva de un arco.El valor de arco se define midiendo la desviación entre el centro y el borde de la oblea de silicio.Este valor suele expresarse en micrómetros (μm).
Deformación
La deformación es una propiedad global de las obleas que mide la diferencia entre la distancia máxima y mínima entre el centro de una oblea libremente liberada y el plano de referencia.Representa la distancia desde la superficie de la oblea de silicio al plano.
¿Cuál es la diferencia entre TTV, Bow, Warp?
TTV se centra en los cambios de espesor y no se preocupa por la flexión o distorsión de la oblea.
El arco se centra en la curvatura general, considerando principalmente la curvatura del punto central y el borde.
La deformación es más completa e incluye doblar y torcer toda la superficie de la oblea.
Aunque estos tres parámetros están relacionados con la forma y las propiedades geométricas de la oblea de silicio, se miden y describen de manera diferente, y su impacto en el proceso de semiconductores y el procesamiento de la oblea también es diferente.
Cuanto más pequeños sean los tres parámetros, mejor, y cuanto mayor sea el parámetro, mayor será el impacto negativo en el proceso del semiconductor.Por lo tanto, como profesionales de semiconductores, debemos darnos cuenta de la importancia de los parámetros del perfil de la oblea para todo el proceso del proceso. En el proceso de semiconductores, debemos prestar atención a los detalles.
(censura)
Hora de publicación: 24 de junio de 2024